[发明专利]用于在生产过程期间产生晶片形元件的数字静止图片的方法及装置有效
申请号: | 200910173726.4 | 申请日: | 2009-09-10 |
公开(公告)号: | CN101673784A | 公开(公告)日: | 2010-03-17 |
发明(设计)人: | 米夏埃多·斯特尔兹利 | 申请(专利权)人: | 史考特公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;G01N21/892 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 刘国伟 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 生产过程 期间 产生 晶片 元件 数字 静止 图片 方法 装置 | ||
1.一种用于在生产过程中产生依序排列在传送带(BD)上的晶片形元件(SZ) 的数字静止图片(EB)的方法(100),
其中所述方法包括以下步骤:
逐步地且横切于移动方向地拍摄依序排列的晶片形元件(SZ)的数字图像照片并 记录所获得的其图像数据(步骤110)
借助基于硬件的图像数据处理来评估所述记录的图像数据以检测表示所述晶片 形元件的开始(A)或末尾(E)的指示的边缘(KA)(步骤120)
依赖于所述所检测边缘来控制所述数字静止图片(EB)从所检测图像数据的所述 产生(步骤130)。
2.根据权利要求1所述的方法(100),其中逐步地拍摄依序排列的晶片形元件 (SZ)的数字图像照片包括逐行地拍摄依序排列的晶片形元件(SZ)的数字图像照片。
3.根据权利要求1所述的方法(100),其中逐行地拍摄所述依序排列的晶片形 元件(SZ)的所述数字图像照片,针对每一照片所拍摄的行数目(X)大于表示单个 晶片形元件(SZ)的平均尺寸或最大尺寸的预定义行数目(Y)。
4.根据权利要求3所述的方法(100),其中针对每一照片所拍摄的所述行数目 (X)包括所述预定义数目(Y)加上表示每一单个晶片形元件(SZ)的所述开始(A) 处及/或所述末尾(E)处的重叠区域的至少一个额外数目(N,N’)。
5.根据权利要求4所述的方法(100),其中所述至少一个额外数目是表示每一 单个晶片形元件(SZ)的所述末尾(E)处的重叠区域的随后的行数目(N’)。
6.根据权利要求5所述的方法(100),其中所述至少一个额外数目是表示每一 单个晶片形元件(SZ)的所述开始(A)处的重叠区域的前面的行数目(N),且其 中所述前面的行数目(N)不同于所述随后的行数目(N’)。
7.根据权利要求1或2所述的方法(100),其中在可编程集成电路中执行基 于硬件的图像处理。
8.根据权利要求7所述的方法(100),其中所述可编程集成电路为PFGA。
9.根据权利要求1或2所述的方法(100),其中在每一所检测边缘(KA)处, 借助表示特定静止图片(EZ)内的所述晶片形元件(SZ)的所述开始(A)或所述末 尾(E)的所述指示的控制信号(TR)触发所述静止图片(EB)的所述产生。
10.根据权利要求1或2所述的方法(100),其中在表示所述开始(A)的所述 指示的每一所检测边缘(KA)之后,根据预定义的截面数目,使用随后的所检测图像 数据来产生所述静止图片(EB)的核心区域。
11.根据权利要求10所述的方法(100),其中所述预定义的截面数目包括预定 义的行数目(Y)。
12.根据权利要求10所述的方法(100),其中在根据预定义的截面数目的每一 所检测边缘(KA)之前及/或之后,使用其中所检测的所述图像数据来产生所述静止 图片(EB)的互补区域。
13.根据权利要求12所述的方法(100),其中所述预定义的截面数目包括预定 义的行数目(N,N’)。
14.根据权利要求1或2所述的方法(100),其中,当未能检测到晶片形元件 (SZ)的任何边缘(KA)时,借助表示特定静止图片(EZ)内的所述晶片形元件(SZ) 的所述开始(A)或所述末尾(E)的所述指示的合成控制信号(TR*)来触发所述静 止图片(EB)的所述产生。
15.根据权利要求9所述的方法(100),其中所述控制信号(TR)起始对预定 义数目的行的扫描以用于所述静止图片(EB)的所述产生。
16.根据权利要求14所述的方法(100),其中所述合成控制信号(TR*)起始 对预定义数目的行的扫描以用于所述静止图片(EB)的所述产生。
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