[发明专利]角速度传感器元件、角速度传感器和电子设备

权利要求书

1.一种角速度传感器元件，包括：

主体，具有三个振动器部，包括以第一相位振动的振动器部和以与所述第一相位相反的第二相位振动的振动器部；

第一检测压电层，检测以所述第一相位振动的所述振动器部的振动，所述第一检测压电层形成在以所述第一相位振动的所述振动器部上；

第二检测压电层，检测以所述第一相位振动的所述振动器部的振动，所述第二检测压电层形成在以所述第一相位振动的所述振动器部上，并与所述第一检测压电层分离设置；以及

驱动压电层，使以所述第二相位振动的所述振动器部振动，所述驱动压电层形成在以所述第二相位振动的所述振动器部上，并与所述第一检测压电层和所述第二检测压电层分离设置。

2.根据权利要求1所述的角速度传感器元件，

其中，所述三个振动器部由以所述第二相位振动的第一振动器部和第二振动器部以及以所述第一相位振动并设置在所述第一振动器部与所述第二振动器部之间的第三振动器部构成。

3.根据权利要求2所述的角速度传感器元件，还包括：

第一电极，包括彼此相对同时夹置所述第一检测压电层的第一上部电极层和第一下部电极层；以及

第二电极，包括彼此相对同时夹置所述第二检测压电层的第二上部电极层和第二下部电极层，所述第二电极与所述第一电极分离设置。

4.根据权利要求1所述的角速度传感器元件，

其中，所述主体包括：

固定部，具有第一方向上的宽度和垂直于所述第一方向的第二方向上的厚度，并固定至安装板，

连接部，将所述三个振动器部彼此连接，以及

支持部，连接在所述固定部与所述连接部之间，并具有比所述固定部的厚度小的厚度以及比所述固定部的宽度小的宽度。

5.根据权利要求1所述的角速度传感器元件，

其中，所述三个振动器部由以所述第一相位振动的第一振动器部和第二振动器部以及以所述第二相位振动并设置在所述第一振动器部与所述第二振动器部之间的第三振动器部构成。

6.一种角速度传感器，包括：

角速度传感器元件，包括：主体，具有三个振动器部，所述三个振动器部包括以第一相位振动的振动器部和以与所述第一相位相反的第二相位振动的振动器部；第一检测压电层，检测以所述第一相位振动的振动器部的振动；第二检测压电层，检测以所述第一相位振动的振动器部的振动；以及驱动压电层，使以所述第二相位振动的振动器部振动，所述第一检测压电层形成在以所述第一相位振动的振动器部上，所述第二检测压电层形成在以所述第一相位振动的振动器部上并与所述第一检测压电层分离设置，所述驱动压电层形成在以所述第二相位振动的振动器部上并与所述第一检测压电层和所述第二检测压电层分离设置；以及

电路板，其上安装有所述角速度传感器元件。

7.一种电子设备，配备有角速度传感器，所述角速度传感器包括：

角速度传感器元件，包括：主体，具有三个振动器部，所述三个振动器部包括以第一相位振动的振动器部和以与所述第一相位相反的第二相位振动的振动器部；第一检测压电层，检测以所述第一相位振动的振动器部的振动；第二检测压电层，检测以所述第一相位振动的振动器部的振动；以及驱动压电层，使以所述第二相位振动的振动器部振动，所述第一检测压电层形成在以所述第一相位振动的振动器部上，所述第二检测压电层形成在以所述第一相位振动的振动器部上并与所述第一检测压电层分离设置，所述驱动压电层形成在以所述第二相位振动的振动器部上并与所述第一检测压电层和所述第二检测压电层分离设置；以及

电路板，其上安装有所述角速度传感器元件。