[发明专利]液状体喷出方法、配线衬底、滤色器及有机EL发光元件的制法

说明书

本申请是申请日为2007年8月10日、申请号为2007101408427、名称为“液状体喷出方法、配线衬底、滤色器及有机EL发光元件的制法”的申请的分案申请。 

技术领域

本发明涉及含有功能性材料的液状体的喷出方法、配线衬底的制造方法、滤色器的制造方法、有机EL发光元件的制造方法。 

背景技术

作为含有功能性材料的液状体的喷出方法，已知在衬底上形成所期望的膜图形的方法(专利文献1)。该膜图形形成方法，包括检测工序和控制处理工序，检测工序在所期望的膜图形的形成之前从液滴喷头喷出功能性材料的液滴并检测其喷落状态，控制处理工序根据由检测工序检测的液滴喷落状态来检测液滴喷头的各喷嘴的喷出特性，根据该喷出特性作成控制液滴喷头的喷出的控制信号。另外，还具备根据所述控制信号控制液滴喷头的喷出并形成所述所期望的膜图形的膜图形形成处理。并且，在所述检测工序中，向载置所述衬底的载物台上供给所述液滴所含有的溶剂或分散剂、或它们的蒸气。因而，在载物台上预先存在溶剂或分散剂、或它们的蒸气，因此，能够抑制从用于检查而喷落的液滴中蒸发必要以上的溶剂或分散剂从而导致喷落状态变化的情况。从而，能够更准确地检测喷落状态，根据该喷落状态检测液滴喷头的各喷头的喷出特性，因此，能够在控制处理工序中生成适当的控制信号，在膜图形形成处理中形成高精度的膜图形。 

专利文献1：特开2006-15243号公报 

所述膜图形形成方法中，作为液滴喷头的各喷嘴的喷出特性，以液滴的喷落位置和喷落直径为着眼点。不过，没有明确公布根据被检测的喷落位置和喷落直径如何生成驱动液滴喷头的控制信号。特别是当由于飞行弯曲而使喷落位置偏离时，由于飞行弯曲产生的喷落位置偏离的方向不一定为一定，在如何解决这个问题方面仍是不明确的。 

另外，在这种所谓的液滴喷出法(喷墨方式)中，作为产生飞行弯曲 的原因，认为是由于例如喷嘴的局部堵塞、在喷嘴的开口部周边附着液状体和异物等造成的影响。从而，为了预防飞行弯曲，而进行吸引去除喷嘴内的异物和液状体(加盖)、或者擦拭形成有喷嘴的喷嘴板表面并清除异物(擦去)等使液滴喷头恢复的恢复动作(再生动作)。不过，即使进行这种恢复动作也还是存在不能完全清除原因、有可能产生飞行弯曲这样的问题。 

发明内容

本发明正是考虑所述问题而产生的，其目的在于提供能够驱动控制喷头、使液滴高精度喷落的液状体的喷出方法、适用了该液状体的喷出方法的配线衬底的制造方法、滤色器的制造方法、有机EL发光元件的制造方法。 

本发明的液状体的喷出方法，其使具有多个喷嘴的喷头和衬底对置配置，与使所述喷头和所述衬底相对移动的主扫描同步，在所述衬底上作为液滴喷出含有功能性材料的液状体，所述液状体的喷出方法的特征在于，具备喷出工序，所述喷出工序根据从多个喷嘴喷出的液滴的喷落位置信息，使多个喷嘴中规定的喷嘴改变喷出定时而进行喷出。 

根据该方法，在喷出工序中，根据从多个喷嘴喷出的液滴的喷落位置信息，使多个喷嘴中规定的喷嘴改变喷出定时而进行喷出。从而，根据所述喷落位置信息，特定需要修正喷落位置的规定喷嘴，使其他喷嘴改变喷出定时，从而，能够使液滴高精度喷落。 

再有，其特征在于，还具备驱动所述喷头，取得从多个喷嘴喷出的液滴的喷落位置信息的工序。根据该方法，由于具备取得所述喷落位置信息的工序，因此，能够取得最新的喷落位置信息，将其反映给喷出工序。 

其特征在于，还具备配置图形生成工序，配置图形生成工序相对于通过所述主扫描在衬底上配置液滴的第一配置图形，生成根据喷落位置信息在主扫描的方向上对飞行弯曲进行了修正的第二配置图形，喷出工序中，根据第二配置图形，使产生了飞行弯曲的喷嘴改变喷出定时而喷出液滴。 

根据该方法，在喷出工序中，根据在配置图形生成工序中修正的第二配置图形，使产生了飞行弯曲的喷嘴改变喷出定时进行喷出。从而，预先 考虑液滴相对于衬底的濡湿性等物性和具有喷头的液滴喷出装置的描绘精度等而作成第一配置图形，与之相对，如果生成修正了飞行弯曲的第二配置图形，则能够至少在主扫描方向上高精度地控制液滴的喷落位置。 

优选，所述配置图形生成工序中，第二配置图形在主扫描中的往动和复动中分开生成，飞行弯曲在主扫描方向上的修正在往动和复动中以不同方式进行。根据该方法，考虑由于主扫描的往动和复动而产生的喷落位置的变动，生成第二配置图形，因此，能够更高精度地控制液滴的喷落位置。