[发明专利]提供大电流与电压电位测量的悬臂式探针结构

权利要求书

1.一种提供大电流与电压电位测量的悬臂式探针结构，其特征在于，包括：多个探针，该些探针对应于待测试芯片的同一测试点，用以传送电信号，不同的探针具有相同或不同的针径，且由一外接的测试机控制该些探针为断路或导通。

2.根据权利要求1所述的提供大电流与电压电位测量的悬臂式探针结构，其特征在于，该测试点为待测试芯片的焊垫或凸块。

3.根据权利要求1所述的提供大电流与电压电位测量的悬臂式探针结构，其特征在于，当该电信号为高电流或高功率信号时，该些探针中至少一较小针径的探针为断路而至少一较大针径的探针为导通，或该些探针中部分相同针径的探针为导通而其余相同针径的探针为断路，或所有不同针径或相同针径的该些探针为导通，而当该电信号为低电流或低功率信号时，该些探针中至少一较小针径的探针为导通而至少一较大针径的探针为断路，或部分相同针径的该些探针为导通而其余相同针径的探针为断路。

4.根据权利要求1所述的提供大电流与电压电位测量的悬臂式探针结构，其特征在于，该些探针中相邻的探针之间具有间隙，用以间隔开，以避免发生短路。

5.根据权利要求1所述的提供大电流与电压电位测量的悬臂式探针结构，其特征在于，该些探针中的每一探针被绝缘材料层包覆，露出该些探针的前缘部分，以避免发生短路。

6.根据权利要求1所述的提供大电流与电压电位测量的悬臂式探针结构，其特征在于，该些探针被绝缘材料层包覆并固定而形成一体，露出该些探针的前缘部分。

7.根据权利要求1所述的提供大电流与电压电位测量的悬臂式探针结构，其特征在于，该些探针中至少二相邻的探针之间具有间隙，或该些探针中的至少一探针被绝缘材料层包覆，以避免发生短路。

8.根据权利要求5、6或7所述的提供大电流与电压电位测量的悬臂式探针结构，其特征在于，该绝缘材料层包括环氧树脂。

9.一种提供大电流与电压电位测量的悬臂式探针结构，其特征在于，包括：至少一探针群组，其中不同的探针群组分别对应于待测试芯片的不同测试点，用以传送相对应的电信号，每一探针群组包括多个探针，不同的探针具有相同或不同的针径，且相邻的探针具有间隙或每一探针被绝缘材料层包覆，借以避免相邻的探针之间发生短路，且由一外接的测试机控制该些探针群组的探针为断路或导通。

10.根据权利要求9所述的提供大电流与电压电位测量的悬臂式探针结构，其特征在于，该测试点为待测试芯片的焊垫或凸块。

11.根据权利要求9所述的提供大电流与电压电位测量的悬臂式探针结构，其特征在于，当该电信号为高电流或高功率信号时，该些探针中至少一较小针径的探针为断路而至少一较大针径的探针为导通，或该些探针中部分相同针径的探针为导通而其余相同针径的探针为断路，或所有不同针径或相同针径的该些探针为导通，而当该电信号为低电流或低功率信号时，该些探针中至少一较小针径的探针为导通而至少一较大针径的探针为断路，或部分相同针径的该些探针为导通而其余相同针径的探针为断路。

12.根据权利要求9所述的提供大电流与电压电位测量的悬臂式探针结构，其特征在于，该些探针中相邻的探针之间具有间隙，用以间隔开，以避免发生短路。

13.根据权利要求9所述的提供大电流与电压电位测量的悬臂式探针结构，其特征在于，该些探针中的每一探针被绝缘材料层包覆，露出该些探针的前缘部分，以避免发生短路。

14.根据权利要求9所述的提供大电流与电压电位测量的悬臂式探针结构，其特征在于，该些探针被绝缘材料层包覆并固定而形成一体，露出该些探针的前缘部分。

15.根据权利要求9所述的提供大电流与电压电位测量的悬臂式探针结构，其特征在于，该些探针中至少二相邻的探针之间具有间隙，或该些探针中的至少一探针被绝缘材料层包覆，以避免发生短路。

16.根据权利要求12、13或14所述的提供大电流与电压电位测量的悬臂式探针结构，其特征在于，该绝缘材料层包括环氧树脂。