[发明专利]载置台

权利要求书

1.一种载置台，其载置被检查体，其特征在于，具有：

上部板状体，具有所述被检查体的载置面并由导电性材料构成；

绝缘覆膜，连续地覆盖该上部板状体的与所述载置面相反侧的面以及侧面的至少下部并由电绝缘材料构成；和

下部板状体，以与该绝缘覆膜接触的方式配置并由导电性材料构成，

所述电绝缘材料为纯度99.99重量％以上的氧化铝，在所述上部板状体的下表面形成大于等于0.4mm小于1.0mm的厚度。

2.如权利要求1所述的载置台，其特征在于：

所述绝缘覆膜通过绝缘性无机材料进行了含浸处理。

3.如权利要求1或2所述的载置台，其特征在于：

所述绝缘覆膜通过喷镀形成。

4.如权利要求3所述的载置台，其特征在于：

所述喷镀为大气等离子体喷镀。

5.如权利要求1所述的载置台，其特征在于：

在所述上部板状体和所述绝缘覆膜之间，存在具有处于该两者的热膨胀系数之间的热膨胀系数的中间层。

6.如权利要求5所述的载置台，其特征在于：

所述中间层由以镍和铝为主要成分的合金构成。