[发明专利]加工装置

权利要求书

1.一种加工装置，其特征在于，该加工装置具有：

保持单元，其具有对工件进行保持的、由透明体形成的保持部；

加工单元，其对由该保持单元保持的所述工件进行加工；

加工进给单元，其使所述保持单元和所述加工单元在与所述保持部的表 面平行的X轴方向以及与该X轴方向垂直的Y轴方向上相对地进给；以及

摄像单元，其透过所述保持部对由所述保持单元保持的所述工件进 行拍摄，

该摄像单元包括：对所述工件进行拍摄的摄像机构；以及摄像机构 进给单元，其使该摄像机构相对于所述保持部，在所述X轴方向和Y轴 方向上进行相对的进给，通过所述加工进给单元使该摄像单元与该保持 单元一体地进给，

所述加工进给单元包括以可沿X轴方向移动的方式搭载在所述加工 装置的静止基座上的第1滑块，在该第1滑块上以可沿Y轴方向移动的 方式搭载有箱体，在该箱体上以可旋转的方式搭载有所述保持部，在所 述箱体内设置有所述摄像单元，该摄像单元透过所述保持部对所述工件 进行拍摄。

2.根据权利要求1所述的加工装置，其中，

所述摄像机构具有至少2个以上的摄像照相机。

3.根据权利要求2所述的加工装置，其中，

所述2个以上的摄像照相机彼此的倍率不同，并对所述保持部的同 一部位进行拍摄。

4.根据权利要求1所述的加工装置，其中，

所述摄像机构具有至少1个以上的IR摄像照相机。

5.根据权利要求1所述的加工装置，其中，

该加工装置还具有第2摄像单元，该第2摄像单元从所述保持部侧 的相反侧对由所述保持单元保持的所述工件进行拍摄。

6.根据权利要求1所述的加工装置，其中，

所述保持部由从以下组中选择的物质构成，所述组由石英玻璃、硼 硅玻璃、蓝宝石、氟化钙、氟化锂和氟化镁构成。

7.根据权利要求1所述的加工装置，其中，

所述保持部具有：具有多个吸引通路的吸引通路形成区域；以及未 形成吸引通路的吸引通路非形成区域，所述摄像机构对所述工件的拍摄 5是透过该吸引通路非形成区域来进行的。