[发明专利]线状激光光束照射装置

权利要求书

1.一种线状激光光束照射装置，其特征在于，具有：

激光光源，产生发散激光光束，所述发散激光光束是线偏振光的光束；

转换透镜，将所述发散激光光束转换成平行激光光束；

第一透镜，形成第一线状激光光束；

第二透镜，形成与所述第一线状激光光束交叉的第二线状激光光束；

反射光学系统，由朝所述第一透镜反射所述平行激光光束的第一反射面和 朝所述第二透镜反射所述平行激光光束的第二反射面构成；和

光束切换装置，设置于该反射光学系统和所述转换透镜之间，并且在将所 述平行激光光束导向所述第一反射面和所述第二反射面而且通过所述第一线 状激光光束与所述第二线状激光光束的协动而形成十字状的线状激光光束的 光束状态、和将所述平行激光光束导向所述第一反射面并且仅形成所述第一线 状光束的光束状态、以及将所述平行激光光束导向所述第二反射面并且仅形成 所述第二线状光束的光束状态之间切换所述平行激光光束的路径，

所述光束切换装置设置有：将通过所述转换透镜转换成平行激光光束的所 述线偏振光的光束转换成圆偏振光的1/4λ相位差板、将所述线偏振光的光束 线偏振成与该线偏振光的偏振光方向垂直的偏振光方向的1/2λ相位差板以及 使所述线偏振光的光束保持着该线偏振光的偏振光方向而透过的透过窗，

所述第一反射面反射透过所述第二反射面的平行激光光束。

2.根据权利要求1所述的线状激光光束照射装置，其特征在于，

所述第二反射面具有将保持着所述线偏振光的偏振光方向而透过的光束 朝所述第二透镜全反射的偏振光特性，

所述第一反射面具有将通过所述1/2λ相位差板而被线偏振成与所述线偏 振光的光束的偏振光方向垂直的偏振光方向的光束朝所述第一透镜全反射的 偏振光特性。

3.根据权利要求1或2所述的线状激光光束照射装置，其特征在于，所 述反射光学系统由菱形棱镜构成。

4.根据权利要求1或2所述的线状激光光束照射装置，其特征在于，

框体内配置有：所述光源、所述转换透镜、所述第一透镜、所述第二透镜、 所述反射光学系统以及所述光束切换装置，

该框体可以以所述十字状的线状激光光束的交点为中心旋转。

5.根据权利要求3所述的线状激光光束照射装置，其特征在于，

框体内配置有：所述光源、所述转换透镜、所述第一透镜、所述第二透镜、 所述反射光学系统以及所述光束切换装置，

该框体可以以所述十字状的线状激光光束的交点为中心旋转。

6.根据权利要求4所述的线状激光光束照射装置，其特征在于，所述框 体可在垂直面内旋转。

7.根据权利要求5所述的线状激光光束照射装置，其特征在于，所述框 体可在垂直面内旋转。

8.根据权利要求6所述的线状激光光束照射装置，其特征在于，所述框 体上设有校正用传感器，基于该校正用传感器而形成平行于水平面的线状激光 光束。

9.根据权利要求7所述的线状激光光束照射装置，其特征在于，所述框 体上设有校正用传感器，基于该校正用传感器而形成平行于水平面的线状激光 光束。