[发明专利]永磁场直拉硅单晶的工艺及附属设备无效
申请号: | 200910176611.0 | 申请日: | 2009-09-24 |
公开(公告)号: | CN101906658A | 公开(公告)日: | 2010-12-08 |
发明(设计)人: | 徐岳生;王海云;刘彩池;顾励生;李幼斌;王继炎;郎益谦 | 申请(专利权)人: | 天津希力斯新能源技术研发有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B30/04;C30B29/06 |
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地址: | 300410 天津市天津空*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 永磁 场直拉硅单晶 工艺 附属 设备 | ||
1.一种直拉硅单晶的工艺,其特征在于向熔体空间引入可变磁感应强度的磁场。
2.如权利要求1所述的工艺,其特征在于所述可变磁场的强度在为0~1500高斯范围内均匀连续可变。
3.如权利要求1所述的工艺,其特征在于所述可变磁场起始强度为800高斯;当品体生长长度达到一半时,磁场强度降均匀连续地低至600高斯;结束时为400~500高斯。
4.一种权利要求1所述工艺的附属设备,其特征在于常规的直拉单晶炉(1)外面套有环状永磁体(2)。
5.如权利要求4所述的设备,其特征在于所述环状永磁体(2)是具有两层和/或两层以上的结构。
6.如权利要求5所述的设备,其特征在于所述环状永磁体(2)是具有两层的结构。
7.如权利要求4所述的设备,其中所述永磁体(2)采用钕铁硼永磁材料制备。
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