[发明专利]一种非接触式线锯导轮槽型检测仪

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于半导体和太阳能光伏行业的硅片切割设备的切割钢丝 导线轮的槽型检测仪，也可用于其他机械加工领域的螺纹形状和尺寸的检测。

背景技术

半导体和太阳能光伏行业的硅片切割设备的切割钢丝导线轮的槽型检测， 常用的测量设备都是采用传统机械结构的测量工具，如轮廓测量仪等，由于线 锯导轮的本身槽型表面非常细小，一般槽与槽之间的距离不到0.4毫米，所以 采用普通的测量设备测量难度大，测量结果准确性差，并且精度也低。特别是 对于导轮表面有微小瑕疵的部分，传统的测量工具已经远远不能满足要求。所 以基于上述问题，本人设计了一种新型的高精度非接触式线锯导轮槽型测量工 具，采用CCD摄像头成像之后放大，然后由电脑系统进行测量和比较，不仅可 以测量槽距，同时还可以测量槽型角度和深度，与传统的测量工具相比，本工 具是一个技术上的飞跃，可以大大提高测量的精度和准确度，并且可以直观地 观察导轮表面的微小瑕疵部分。在测量时，无需耗材，使用成本低。具有良好 的市场前景。

发明内容

本发明的目的是提供一种非接触式线锯导轮槽型检测的高精度测试仪器， 解决传统测量工具测量精度不高，测量难度大的问题。

本发明的目的是通过以下技术方案来实现：

一种非接触式线锯导轮槽型检测的高精度测试仪器，包括支撑被测量工件 的座体、CCD成像镜头、高亮度白光LED可调光源、X轴Y轴测量光栅尺和 计算机处理元件，在座体的侧面对应被测量工件的上方设有CCD成像镜头，所 述成像镜头通过支架安装在固定于座体上的导轨上，所述导轨的走向与被测工 件的轴心平行，并且成像镜头和可调光源所成的直线与被测工件的侧边相切。

上方的CCD成像镜头和下方的高亮度白光LED可调光源安装在同一个活 动平台上，在测量的时候，同时移动，所以CCD成像镜头和光源始终保持一条 直线，成像清晰。

X轴Y轴设有测量高分辨率的光栅尺，和测量软件配合，进行精确测量， 可根据测量精度的要求，选择0.1um、0.3um、0.5um和1um分辨率的光栅尺。

用于安装被测工件的活动平台，通过导轨安装在座体上，并通过伺服电机 带动丝杠控制活动平台移动，台面承重大，不易变形，可满足不同长度和重量 的线锯导轮的装夹。

CCD成像镜头安装在导轨上，通过伺服电机带动丝杠控制成像镜头上下移 动调焦，其上下运动可通过装在计算机旁的控制按钮来操作，使用方便。

装有CCD成像镜头和高亮度白光LED可调光源的活动平台的左右移动， 采用伺服电机控制，其左右运动可通过装在计算机旁的控制按钮来操作，其移 动速度可可通过装在计算机旁的伺服控制电源的旋钮无级调速，使用方便。

所述支架安装在固定在座体上的导轨上，并通过伺服电机带动丝杠控制支 架左右移动。

测量的时候，将成像镜头的中心方向与被测工件的表面相切，对被测工件 的表面槽型进行投影成像，成像之后经过计算机程序的处理后进行放大，显示 在软件操作界面上，绿过这些处理之后可以将工件上的成像进行几十倍甚至上 百倍的放大，而使用者可以根据成像分析软件和光栅尺的数据标注被测工件的 槽距、角度和槽型深度等多项数据，并且被测工件表面的瑕疵也会被放大显示 在软件界面上，便于客户对产品的质量进行检测和跟踪。

附图说明

下面根据附图和实施例对本发明作进一步详细说明。

图1是本发明实施例所述的非接触式线锯导轮槽型检测仪的侧视结构图

图2是座体的平面结构图

图中：

1、座体；2、成像镜头；3、导轨；4、支架；5、被测工件；6、光栅尺；7、 可调光源；8、伺服电机；9、丝杠；10、活动平台。

具体实施方式

如图1-2所示，本发明所述的非接触式线锯导轮槽型检测的高精度测试仪 器，包括支撑被测量工件的座体1、CCD成像镜头2、高亮度白光LED可调光 源7、X轴Y轴测量光栅尺6和计算机处理元件，在座体1的侧面对应被测量 工件5的上方设有CCD成像镜头2，所述成像镜头2通过支架4安装在固定于 座体1上的导轨3上，所述导轨3的走向与被测工件5的轴心平行，并且成像 镜头2和可调光源7所成的直线与被测工件5的侧边相切。