[发明专利]液体喷射头及液体喷射装置和执行元件装置

权利要求书

1.一种液体喷射头，其特征在于，具有：

流路形成基板，其形成有与喷射液滴的喷嘴开口连通的压力发生 室；和

压电元件，其具备：第1电极、形成在该第1电极上并具有以通式 ABO₃表示的钙钛矿结构的压电体层、以及形成在该压电体层的与上述 第1电极相反侧的第2电极，用于使上述压力发生室产生压力，从上述 喷嘴开口喷出液滴；

上述压电体层的A位点存在铅、锆及钛，

上述压电体层的B位点存在铅、锆及钛。

2.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，

上述压电体层的存在于A位点的铅的量比存在于A位点的锆的量 多，并且比存在于A位点的钛的量多。

3.根据权利要求1或2所述的液体喷射头，其特征在于，

上述压电体层的存在于B位点的铅的量比存在于B位点的锆的量 少，并且比存在于B位点的钛的量少。

4.根据权利要求1或2所述的液体喷射头，其特征在于，

上述压电体层在(100)面上优先取向，并且具有单斜晶系结构。

5.根据权利要求1或2所述的液体喷射头，其特征在于，

上述压电体层的存在于A位点的钛的量比上述压电体层的存在于 A位点的锆的量多。

6.一种液体喷射装置，其特征在于，具有权利要求1～5中任意一 项所述的液体喷射头。

7.一种执行元件装置，其特征在于，具有能够变位地设于基板上的 压电元件，该压电元件具有：第1电极；形成在该第1电极上、并具有 以通式ABO₃表示的钙钛矿结构的压电体层；和形成在该压电体层的与 上述第1电极相反侧的第2电极；

上述压电体层的A位点存在铅、锆及钛，

上述压电体层的B位点存在铅、锆及钛。