[发明专利]放电设备无效
| 申请号： | 200910180039.5 | 申请日： | 2009-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN101668378A | 公开（公告）日： | 2010-03-10 |
| 发明（设计）人： | 杨景华;张超前;赵玲利;王守国 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 北京市德权律师事务所 | 代理人： | 王建国 |
| 地址： | 100029北京市朝*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 放电 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种放电设备，其特征在于，包括：
电极阵列，设置成圆弧状，并连接至高频脉冲电源；
圆滚轴，由金属制成，并设置成与圆弧状的电极阵列同圆心，用于在接通所述高频脉冲电源时，在其与所述电极阵列之间进行放电。
2.根据权利要求1所述的放电设备，其特征在于，所述放电设备还包括导向轴，设置在所述圆滚轴下部的两侧，用于使待处理的薄膜压紧至所述圆滚轴，并在所述电极阵列与所述圆滚轴之间通过。
3.根据权利要求2所述的放电设备，其特征在于，所述电极阵列设置在圆弧形金属板上。
4.根据权利要求3所述的放电设备，其特征在于，所述电极阵列中的每个电极之间的距离相等。
5.根据权利要求4所述的放电设备，其特征在于，所述电极阵列中的每个电极都与所述圆弧形金属板绝缘。
6.根据权利要求5所述的放电设备，其特征在于，所述电极阵列中的每个电极与所述圆滚轴之间的距离均相等。
7.根据权利要求6所述的放电设备，其特征在于，所述电极阵列中的每个电极与所述圆滚轴之间的距离为15-50mm。
8.根据权利要求7所述的放电设备，其特征在于，所述放电设备还包括屏蔽罩，由金属制成，设置在所述圆弧形金属板外部，并连接至地。
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