[发明专利]硅片的脱胶预清洗工艺无效

专利信息
申请号: 200910184978.7 申请日: 2009-10-26
公开(公告)号: CN101693240A 公开(公告)日: 2010-04-14
发明(设计)人: 陈宏 申请(专利权)人: 张家港市超声电气有限公司
主分类号: B08B3/08 分类号: B08B3/08;B08B3/10;B08B3/12;C11D1/68;C11D7/26
代理公司: 张家港市高松专利事务所 32209 代理人: 黄春松
地址: 215618 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 硅片 脱胶 清洗 工艺
【说明书】:

技术领域

发明涉及到用于太阳能发电的硅片,尤其涉及到硅片的脱胶预清洗工艺。

背景技术

众所周知,利用太阳能进行发电是当今世界开发清洁能源的方向,硅片是吸收、传递太阳能的核心材料。

硅片由硅棒切割而成,参见图1、图2所示,其切割过程为:将硅棒3用AB胶粘在磨砂玻璃2上,磨砂玻璃2和线切割模板1同样用AB胶粘接,然后,用专用切割设备将硅棒切割成0.18毫米左右的硅片。切割而成的硅片需要进行脱胶预清洗和后续清洗,最后对硅片表面制绒。脱胶是否彻底直接影响到后续清洗与制绒质量。目前,业内普遍采用的预清洗脱胶工艺,其步骤为:先热水喷淋,然后,用热水或有机酸去脱除AB胶胶粘剂。这种脱胶方法的缺点是:由于热水喷淋具有一定的压力,容易使硅片产生碎片,影响到硅片质量;而且,喷淋之后干燥得很快,影响到后续清洗,不易将硅片表面杂质清洗掉;此外,喷淋水和有机酸需要排放,而排放必须达标,这样就增加了治污成本。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是:提供一种可防止硅片破裂、使得硅片表面不易干燥、并能降低加工成本的硅片的脱胶预清洗工艺。

为解决上述技术问题,本发明采用的技术方案为:硅片的脱胶预清洗工艺,其步骤为:将粘有AB胶的硅片放在硅棒切割液中,加热至70~90℃,并配以每升硅棒切割液约5~8瓦功率密度的超声波,经过3~5分钟清洗,脱去硅片上的AB胶。

所述硅棒切割液的主要成份为聚乙二醇和二乙二醇。

本发明的有益效果是:采用硅棒切割液配以一定功率密度的超声波使硅片脱胶,既可确保不会产生碎片,保证了硅片的表面质量,又彻底脱除硅片上的AB胶;并且,硅片表面不易干燥,从而不会影响到后续的清洗和制绒。除此之外,硅棒切割液可以回收,使得本发明所述的脱胶工艺,不但环保,而且还大大降低了处理成本。

附图说明

图1是背景技术中硅棒胶接结构示意图。

图2是图1的侧视结构示意图。

图1至图2中:1、线切割模板,2、磨砂玻璃,3、硅棒。

具体实施方式

实施例一:

将硅棒切割成的硅片之后,硅片上粘有用于胶接的AB胶,将粘有AB胶的硅片放在硅棒切割液中,加热至70℃,配以每升硅棒切割液8瓦功率密度的超声波,经过5分种的清洗,胶去硅片上的AB胶。

实施例二:

将硅棒切割成硅片之后,硅片上粘有用于胶接的AB胶,将粘有AB胶的硅片放在硅棒切割液中,加热至80℃,配以每升硅棒切割液6.5瓦功率密度的超声波,经过4分种的清洗,胶去硅片上的AB胶。

实施例三:

将硅棒切割成硅片之后,硅片上粘有用于胶接的AB胶,将粘有AB胶的硅片放在硅棒切割液中,加热至90℃,配以每升硅棒切割液5瓦功率密度的超声波,经过3分种的清洗,胶去硅片上的AB胶。

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