[发明专利]用于机械零部件表面耐磨损、耐腐蚀处理的复合涂层及制备方法

权利要求书

1.用于机械零部件表面耐磨损、耐腐蚀处理的复合涂层，其特征是：

所述复合涂层为双层结构，所述双层结构中的表层为功能层，在功能层与零部件表面之间为过渡层；

所述过渡层为纯金属层，所述纯金属层为Cr金属层、Ti金属层或Ni金属层；

所述功能层为碳化物层MC、氮化物层MN或碳氮化物层MNC，所述M为过渡金属Ti、Al、Zr或Mo。

2.根据权利要求1所述的用于机械零部件表面耐磨损、耐腐蚀处理的复合涂层，其特征是所述过渡层的厚度为0.1μm～1μm.

3.根据权利要求1所述的用于机械零部件表面耐磨损、耐腐蚀处理的复合涂层，其特征是所述功能层的厚度为0.5μm～10μm。

4.一种权利要求1所述用于机械零部件表面耐磨损、耐腐蚀处理的复合涂层的制备方法，其特征是采用非平衡磁控溅射方法按以下步骤进行制备：

a、工件经去油、去屑，并以超声波清洗后，烘干，再置于非平衡磁控溅射镀膜设备的真空室中；

b、开启非平衡磁控溅射设备的真空系统，通过抽真空使真空室内压力不高于1×10^-3Pa；

c、将工件加热到200℃～500℃保温30分钟；在保温过程中对工件进行等离子体清洗；

d、使用Ar气作为工作气体，利用非平衡磁控溅射方法制备过渡层，所述过渡层为Cr层、Ti层或Ni层；

e、使用Ar气作为工作气体，通入N₂或C₂H₂气体作为反应气体制备功能层；

f、零部件随炉冷却到100℃以内，取出即可。