[发明专利]一种复合陶瓷磨盘及其制造方法

权利要求书

1.一种复合陶瓷磨盘，其特征在于由组份为：

3mol％Y₂O₃稳定的四方多晶ZrO₂  85～90wt％

Al₂O₃                         4～8wt％

Ce₂O₃稳定的四方多晶ZrO₂       4～6wt％

Cr₂O₃                         2～5wt％

组成的复合陶瓷磨盘。

2.一种制造权利要求1所述复合陶瓷磨盘的方法，其特征在于：以纳米级3mol％Y₂O₃稳定的四方多晶ZrO₂、纳米级Al₂O₃、纳米级Ce₂O₃稳定的四方多晶ZrO₂以及亚微米级Cr₂O₃为原料，按如下重量百分比：

3mol％Y₂O₃稳定的四方多晶ZrO₂  85～90wt％

Al₂O₃                         4～8wt％

Ce₂O₃稳定的四方多晶ZrO₂       4～6wt％

Cr₂O                          2～5wt％，

经配料、球磨、造粒、成型、素坯加工、高温烧结、精密磨加工获得制品，其中烧结温度为：1480～1550℃，保温时间2～4小时。

3.根据权利要求2所述的复合陶瓷磨盘的制造方法，其特征在于：所述的球磨是将配好的粉料放入球磨机，加入氧化锆研磨球和水，粉料、锆球、水的重量比例为1∶1.8～2.0∶0.25～0.3，此外加入0.1～0.2％粉料重量的聚乙烯醇作为粘结剂，球磨12～16小时。

4.根据权利要求2所述的复合陶瓷磨盘的制造方法，其特征在于：所述造粒采用喷雾造粒，粒径为20～30μm。

5.根据权利要求2所述的复合陶瓷磨盘的制造方法，其特征在于：所述成型采用先干压成型，压力95～105MPa；然后冷等静压成型，压力130～160MPa，得到陶瓷素坯的密度为60％～65％。

6.根据权利要求2所述的复合陶瓷磨盘的制造方法，其特征在于：所述素坯加工包括开槽、打空和边角修整加工。

7.根据权利要求2所述的复合陶瓷磨盘的制造方法，其特征在于：所述精密磨加工包括双面平面加工、槽口深度加工和通孔加工。