[发明专利]1800度高温保护气氛真空烧结炉

权利要求书

1.一种1800度高温保护气氛真空烧结炉，控制系统与设置在真空烧结炉中的电 控执行部件相连、真空烧结炉与真空系统和进、排气管道相连，其特征在于一炉适用两种 工艺：气氛烧结和真空烧结，并由控制程序实施功能转换措施；炉壳体两端开门、一端门 上安装循环风机，炉壳体上安装热电偶、铜电极，并有管道与真空系统相连，炉壳体内装 方体加热室、固定在加热室四个内壁上的加热器、加热器内部再安装密封箱和支撑料架； 联通密封箱的进、排气管道通过石墨管分别穿过加热室和密封箱的上、下壁与密封箱内相 通，测量温度的热电偶固定在炉壳体上，热电偶测温端进入到密封箱内，铜电极通过石墨 电极与加热器相连接。

2.根据权利要求1所述的1800度高温保护气氛真空烧结炉，其特征在于进气管道 (10)与排气管道(12)均通过石墨管(16)与密封箱(6)连接，石墨管(16)穿过加热室(2)隔热层 壁与石墨的密封箱(6)相连通，为提高接口处的密闭性，在石墨管(16)与密封箱内壁之间 加一石墨密封环(15)，该环下面紧贴密封箱内壁板，将密封箱与石墨管(16)之间较大的环 形间隙挡严，增加密封箱(6)的密封性。

3.根据权利要求1所述的1800度高温保护气氛真空烧结炉，其特征在于加热室(2) 六个面的隔热层壁用高温成型的硬质复合碳纤维毡制造，加热器(3)、密封箱(6)、支撑料 架(5)及与密封箱(6)相连的石墨管(16)均采用耐高温，本身挥发物少的优质石墨制造。

4.根据权利要求1所述的1800度高温保护气氛真空烧结炉，其特征在于与加热器(3) 相连的石墨电极(9)垂直穿过加热室(2)的隔热层壁，并由内刚玉陶瓷管(22)，外层刚玉管(21) 依次同轴套在石墨电极(9)外周与加热室(2)隔热层壁的外壁之间，外层刚玉管(21)一端有外 沿，突出于加热室(2)隔热层壁的外壁固定，再将氮化硼绝缘管(23)、起增强作用的氮化 硼绝缘环(24)依次同轴套在石墨电极(9)外周与加热室(2)隔热层壁的内壁之间。

5.根据权利要求4所述的1800度高温保护气氛真空烧结炉，其特征在于氮化硼绝缘 管(23)一端形成外凸台，起增强作用的氮化硼绝缘环(24)套在外凸台上，氮化硼绝缘环(24) 内径与氮化硼绝缘管(23)外径相匹配。

6.根据权利要求1所述的1800度高温保护气氛真空烧结炉，其特征在于真空烧结炉 的工艺流程控制：准备工作是检查真空烧结炉的电源、气源、水源，在触摸屏上编制加热 工艺流程、启动真空烧结炉，对炉内抽真空；两种用途选择：一是真空加热，根据编制的 加热工艺流程内容，真空状态下自动启动加热程序，对真空烧结炉加热、按照编制的加热 工艺流程升温，最终升温到1700～1800℃，保持加热工艺流程要求时间；另一种保护气氛 烧结用途：根据编制的加热工艺流程内容，对炉内密封箱充入惰性气体，充气完成后，自 动启动加热程序，真空烧结炉在保护气氛下加热，惰性气体排出带走挥发物，按照编制的 加热工艺流程升温，最终升至1700～1800℃，保持加热工艺流程要求时间；上述两种用途 共同使用的步骤：加热过程结束，停止加热，开始自然降温、降温到设定的温度后，继续 充入惰性气体，然后启动风机，真空烧结炉进入强制冷却过程，降温到设定的温度后，继 续冷却，并开始计时，到达设定时间后冷却停止，出炉。