[发明专利]COG玻璃基板定位装置有效
| 申请号： | 200910190792.2 | 申请日： | 2009-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN101710574A | 公开（公告）日： | 2010-05-19 |
| 发明（设计）人： | 区大公;张志能;孔繁松;李克天;陈新度;欧阳祥波 | 申请（专利权）人： | 日东电子科技(深圳)有限公司;广东工业大学 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京中北知识产权代理有限公司 11253 | 代理人： | 段秋玲 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | cog 玻璃 定位 装置 | ||
1.COG玻璃基板定位装置，包括基座(1)和设置在该基座(1)上的 承载玻璃基板(4)的玻璃载台(2)，其特征在于：
所述COG玻璃基板定位装置设有可转动伸缩的定位装置(3)，所述 定位装置(3)与所述基座(1)或玻璃载台(2)固定；所述定位装置(3) 包括驱动装置(30)和与该驱动装置(30)连接的转轴(31)，所述转轴 (31)上设有连杆(32)，该连杆(32)一端设有校正所述玻璃基板(4) 的校正板(33)。
2.根据权利要求1所述的COG玻璃基板定位装置，其特征在于：
所述驱动装置(30)为步进电机。
3.根据权利要求`或2所述的COG玻璃基板定位装置，其特征在于：
所述连杆(32)呈L状。
4.根据权利要求3所述的COG玻璃基板定位装置，其特征在于：
所述COG玻璃基板定位装置还包括控制所述驱动装置(30)工作的 第一行程开关(34)和第二行程开关(35)，所述第一行程开关(34)和 第二行程开关(35)分别与所述基座(1)或玻璃载台(2)固定，且所述 第一行程开关(34)和所述第二行程开关(35)分别位于所述转轴(31) 两侧，并与所述连杆(32)配合。
5.根据权利要求4所述的COG玻璃基板定位装置，其特征在于：
所述校正板(33)为塑料、橡胶或硅胶。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
