[发明专利]平动式光栅光调制器、其制造方法及其阵列

权利要求书

1.平动式光栅光调制器，其特征在于：包括硅衬底以及设置于硅衬底上的绝缘层，光栅通过弹性悬臂梁悬空支撑于绝缘层上方，所述弹性悬臂梁由梁体和锚杆组成，梁体的一端通过锚杆固定设置于绝缘层上，梁体的另一端与光栅固定连接，在光栅下方的绝缘层上设置有下电极，所述弹性悬臂梁的梁体具有折叠结构，弹性悬臂梁梁体的厚度小于光栅的厚度的1/3。

2.如权利要求1所述的平动式光栅光调制器，其特征在于：所述弹性悬臂梁的梁体的折叠结构呈方波状折叠。

3.如权利要求1所述的平动式光栅光调制器，其特征在于：所述弹性悬臂梁为4根，分别与光栅的四角固定连接。

4.如权利要求1至3中任一项所述的平动式光栅光调制器，其特征在于：所述弹性悬臂梁与光栅为一体，由多晶硅刻蚀而成。

5.如权利要求1至3中任一项所述的平动式光栅光调制器，其特征在于：所述下电极为2个，分别设置于光栅长度方向上的两端下方。

6.如权利要求5所述的平动式光栅光调制器，其特征在于：所述下电极由磷掺杂多晶硅刻蚀而成。

7.如权利要求1至6中任一项所述的平动式光栅光调制器组成的光栅光调制器阵列，其特征在于：所述平动式光栅光调制器组成的光栅光调制器阵列由至少2个平动式光栅光调制器并列而成，其中每一个平动式光栅光调制器均可在驱动电路控制下独立动作。