[发明专利]一种高精度自动化光电晶体提拉炉

权利要求书

1、一种高精度自动化光电晶体提拉炉，包括炉体、设于炉体内且装有熔融晶体的坩埚及用于提拉晶体的提拉杆，其特征在于：还包括对坩埚进行加热的加热模块、实时测量坩埚温度的测温模块、根据坩埚测量的温度控制加热模块的温控模块、调节提拉杆提拉速度的提拉模块、调节提拉杆旋转速度的旋转模块、对坩埚内剩余晶体重量作监控的监控模块及通过总线和通信协议与各个模块相连接的控制系统。

2、根据权利要求1所述的高精度自动化光电晶体提拉炉，其特征在于：各个模块均设有一用于控制与维护本模块的控制子模块，且控制子模块与控制系统通过总线交互数据。

3、根据权利要求2所述的高精度自动化光电晶体提拉炉，其特征在于：该旋转模块还包括旋转电机及其驱动电路，旋转电机将其实际转速形成反馈电压反馈至控制子模块，当控制子模块检测到实际转速与预设值不同时，则将旋转电机转速调整至预设值内。

4、根据权利要求2所述的高精度自动化光电晶体提拉炉，其特征在于：该提拉模块还包括提拉电机及其驱动电路，提拉模块的控制子模块中设有用于监控提拉电机位移的光栅尺，当控制子模块检测到实际提拉速度与预设值不同时，则将提拉电机速度调整至预设值内。

5、根据权利要求1所述的高精度自动化光电晶体提拉炉，其特征在于：该温控模块为精确度小于或等于0.1摄氏度的温控仪器。

6、根据权利要求5所述的高精度自动化光电晶体提拉炉，其特征在于：该测温模块为热电偶。

7、根据权利要求1所述的高精度自动化光电晶体提拉炉，其特征在于：该加热模块包括对坩埚进行非接触式加热的中频线圈及连接至中频线圈的中频电源。

8、根据权利要求1所述的高精度自动化光电晶体提拉炉，其特征在于：该监控模块包括设于坩埚下方用于称量炉体内晶体重量的电子秤及与电子秤连接的单片机驱动电路，该坩埚设于抵压在设于电子秤上的绝热支架上。

9、根据权利要求8所述的高精度自动化光电晶体提拉炉，其特征在于：该监控模块包括将中频线圈加热功率波动产生的电子秤读数误差进行过滤的滤波单元。

10、根据权利要求1至9任一项所述的高精度自动化光电晶体提拉炉，其特征在于：该控制系统包括与各个模块相互传输参数的输入输出单元、对制备参数进行记录的数据记录单元、将各参数进行显示的显示单元、用于判断晶体生长过程的实际参数是否超过预设保护参数范围的参数判断单元及对各参数进行处理的处理单元。