[发明专利]全自动化多晶槽式酸处理设备

权利要求书

1.一种全自动化多晶槽式酸处理设备，包括处理槽以及处理液循环用的储 存罐，其特征在于，所述处理槽包含内槽与外槽，其中内槽下部设有液体的注入 口、循环口和排液口，内槽顶面四周形成溢流以及内槽四壁侧面开一定数量的孔， 从孔中连续排出药液到外槽并与储存罐相配合达到循环的目的；

在所述内槽带孔壁面的外侧设置可控制用的流量调节板，所述内槽壁面开 孔的面积和处理槽的高度是形成比例的，随着液面高度变化，上开孔直径大于下 开孔。

2.根据权利要求1所述的全自动化多晶槽式酸处理设备，其特征在于：所 述处理设备至少具备药液温度控制系统、药液浓度管理系统，并具备全部系统的 自动控制功能。

3.根据权利要求1所述的全自动化多晶槽式酸处理设备，其特征在于：所 述内、外槽所构成的处理槽和循环储存罐构成一体化处理液循环系统。