[发明专利]光阻监控方法及客户端无效

专利信息
申请号: 200910194958.8 申请日: 2009-09-01
公开(公告)号: CN102005072A 公开(公告)日: 2011-04-06
发明(设计)人: 金海波;王琳 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: G07C11/00 分类号: G07C11/00
代理公司: 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 代理人: 王一斌;王琦
地址: 201203 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 监控 方法 客户端
【权利要求书】:

1.一种光阻监控方法,该方法包括:

为进入实验室的新光阻分配唯一标识,客户端记录以该光阻标识为索引的光阻信息,根据该光阻信息对光阻进行监控。

2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述光阻标识包含光阻名称,所述客户端记录以该光阻标识为索引的光阻信息之后、根据该光阻信息对光阻进行监控之前进一步包括:

客户端根据所述新光阻标识,以及预设的光阻名称与光阻在防爆柜中的位置范围信息的对应关系,确定所述新光阻在防爆柜中的位置范围,将该位置范围信息显示给管理员;发现所述新光阻被放入防爆柜,将所述新光阻在防爆柜中的位置信息添加到记录的该新光阻信息中。

3.如权利要求2所述的方法,其特征在于,所述发现所述新光阻被放入防爆柜之后、将所述新光阻在防爆柜中的位置信息添加到记录的该新光阻信息中之前进一步包括:

接收管理员输入的新光阻被放入防爆柜中的位置信息,将该位置信息与所确定的新光阻在防爆柜中的位置范围信息匹配,若匹配上,则提示管理员新光阻放入位置正确;否则,提示管理员新光阻放错位置,并重新向管理员显示所确定的新光阻在防爆柜中的位置范围信息。

4.如权利要求2所述的方法,其特征在于,所述客户端将所述新光阻在防爆柜中的位置信息添加到记录的该新光阻信息中之后、根据该光阻信息对光阻进行监控之前进一步包括:

客户端在预设的光阻名称与光阻的退冰期间的对应关系中,查找所述新光阻标识对应的退冰期间,将该退冰期间添加到记录的该新光阻信息中,同时,将该新光阻的状态:退冰中添加到所述新光阻信息中,

且,所述客户端根据该光阻信息对光阻进行监控包括:

客户端根据记录的所述新光阻的退冰期间,发现新光阻退冰结束时,将记录的该新光阻的状态更改为:可使用。

5.如权利要求4所述的方法,其特征在于,所述光阻标识包括光阻的批号,

所述客户端根据该光阻信息对光阻进行监控包括:

机台发现有光阻用完,向客户端发送携带光阻标识和该光阻在机台上的位置信息的告警消息,客户端接收告警消息,将记录的用完的光阻的光阻信息中的状态更改为:用完,并在记录的所有光阻信息中,查找与该用完的光阻标识中的光阻名称匹配的光阻信息,向管理员提示更换光阻,并显示用完的光阻在机台上的位置信息,以便管理员将用完的光阻从机台上取下,同时显示该查找到的光阻信息,以便管理员根据该光阻信息中的光阻在防爆柜中的位置信息,在防爆柜中找到光阻,并将该光阻放上机台,并将记录的该光阻信息中的状态更改为:使用中。

6.如权利要求5所述的方法,其特征在于,所述光阻标识包含光阻的保质期限,

且所述客户端将所述新光阻在防爆柜中的位置信息添加到记录的该新光阻信息中之后、所述客户端根据该光阻信息对光阻进行监控之前进一步包括:

客户端在预设的光阻名称与光阻在实验室中的保存期限的对应关系中,查找所述新光阻标识对应的保存期限,将该保存期限记录在该新光阻信息中,

所述查找与该用完的光阻标识中的光阻名称匹配的光阻信息之后、向管理员提示更换光阻之前进一步包括:

在匹配的光阻信息中查找状态为可使用,且保质期限或保存期限最近的光阻信息,将查找到的光阻信息对应的光阻用于替换用完的光阻。

7.如权利要求6所述的方法,其特征在于,所述客户端接收告警消息之后、查找与该用完的光阻标识中的光阻名称匹配的光阻信息之前进一步包括:

客户端向管理员提示是否需要更换光阻,并显示用完的光阻在机台上的位置信息,以便管理员根据该位置信息查看该光阻是否确实用完,若接收到管理员输入的确认更换指示,则执行所述查找与该用完的光阻标识中的光阻名称和批号匹配的光阻信息的动作。

8.如权利要求6或7所述的方法,其特征在于,所述在匹配的光阻信息中查找状态为可使用,且保质期限或保存期限最近的光阻信息之后、向管理员提示更换光阻之前进一步包括:

判断查找到的光阻信息中的光阻名称、批号是否与用完的光阻的光阻名称、批号相同,若是,执行所述向管理员提示更换光阻的动作;否则,提示管理员是否需要更换光阻,并显示查找到的光阻信息中的光阻名称和批号、用完的光阻名称和批号,若接收到管理员输入的确认更换指示,则执行所述向管理员提示更换光阻的动作。

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