[发明专利]一种俄歇电子能谱检测样品的制备方法

权利要求书

1.一种俄歇电子能谱检测样品的制备方法，包括以下步骤：

提供一原始检测样品，所述原始检测样品包括半导体基底、位于所述半导体基底上的焊盘以及位于所述焊盘上的钝化层，所述钝化层具有暴露出部分所述焊盘的开口；

将所述原始检测样品上需进行检测分析的区域接地。

2.如权利要求1所述的俄歇电子能谱检测样品的制备方法，其特征在于，所述原始检测样品上需进行检测分析的区域为所述钝化层或所述焊盘或所述钝化层和所述焊盘。

3.如权利要求1或2所述的俄歇电子能谱检测样品的制备方法，其特征在于，所述将所述原始检测样品上需进行检测分析的区域接地的步骤包括：使用可凝固的流动导体将所述需进行检测分析的区域与接地导体连接，之后使所述流动导体凝固。

4.如权利要求3所述的俄歇电子能谱检测样品的制备方法，其特征在于，所述可凝固的流动导体为导电胶水。

5.如权利要求3所述的俄歇电子能谱检测样品的制备方法，其特征在于，所述接地导体为所述半导体基底上的焊盘中的接地焊盘。

6.如权利要求3所述的俄歇电子能谱检测样品的制备方法，其特征在于，所述接地导体为俄歇电子能谱测试仪的样品座。

7.如权利要求3中所述的俄歇电子能谱检测样品的制备方法，其特征在于，所述使用可凝固的流动导体将所述需进行检测分析的区域与接地导体连接的步骤包括：使用细针蘸取所述流动导体，点在需进行检测分析的区域附近，用所述细针引导所述流动导体将所述需进行检测分析的区域与所述接地导体连接。

8.如权利要求3所述的俄歇电子能谱检测样品的制备方法，其特征在于，所述使所述流动导体凝固的步骤包括对所述流动导体进行加热，使其凝固。