[发明专利]靶材及设定靶材元素配比方法

权利要求书

1.一种设定靶材元素配比方法，包括如下步骤：

提供第一靶材，所述第一靶材包括第一元素和第二元素；

采用所述第一靶材在衬底上形成薄膜；

测量在衬底不同区域的所述薄膜的元素配比数据；

根据所述衬底不同区域的所述薄膜的元素配比数据，设定与衬底区域对应的靶材区域的元素配比，形成第二靶材。

2.如权利要求1所述的设定靶材元素配比方法，其特征在于，所述第一靶材的元素配比为均一的元素配比。

3.如权利要求1所述的设定靶材元素配比方法，其特征在于，采用所述第二靶材在衬底上形成的薄膜元素配比均一性高于采用所述第一靶材在衬底上形成的薄膜。

4.如权利要求1所述的设定靶材元素配比方法，其特征在于，所述靶材第一元素为镍，所述第二元素为铂。

5.如权利要求1所述的设定靶材元素配比方法，其特征在于，所述测量在衬底不同区域的所述薄膜的元素配比数据具体包括：以衬底的中心为圆心将衬底表面划分为至少2个检测区域；分别在检测区域取样，采用元素分析仪器测试样品的元素配比。

6.如权利要求1所述的设定靶材元素配比方法，其特征在于，所述测量在衬底不同区域的所述薄膜的元素配比数据具体包括：以衬底的中心为圆心将衬底表面划分为3个检测区域，衬底的中心区域为直径为100毫米的圆形，中间区域为直径为200毫米去除中心区域的圆环，边缘区域为衬底去除中心区域和中间区域的剩余区域；分别在检测区域取样，采用元素分析仪器测试样品的元素配比。

7.如权利要求1所述的设定靶材元素配比方法，其特征在于，所述根据所述衬底不同区域的所述薄膜的元素配比数据，设定与衬底区域对应的靶材区域的元素配比具体包括：以靶材的中心为圆心将靶材划分为3个区域，所述靶材的中心区域为150毫米±10毫米的圆形，所述靶材的中间区域为直径为300毫米±20毫米去除中心区域的圆环，所述靶材的边缘区域为450毫米±30毫米去除中心区域和中间区域的圆环；所述靶材的中心区域的铂元素百分比为6％，镍元素百分比为94％；所述靶材的中间区域的铂元素百分比为5％，镍元素百分比为95％；所述靶材的边缘区域的铂元素百分比为4.97％，镍元素百分比为95.03％。

8.一种靶材，其特征在于，包括：

所述靶材包括靶材坯料；

所述靶材坯料包括第一元素和第二元素；

所述靶材坯料包括多重区域；

所述靶材坯料区域的元素配比根据均一元素配比的靶材形成的薄膜在衬底不同区域的元素配比数据设定。

9.如权利要求8所述的靶材，其特征在于，所述靶材第一元素为镍，所述第二元素为铂。

10.如权利要求8所述的靶材，其特征在于，所述靶材坯料包括多重区域为以靶材的中心为圆心将靶材划分为3个区域，所述靶材的中心区域为150毫米±10毫米的圆形，所述靶材的中间区域为直径为300毫米±20毫米去除中心区域的圆环，所述靶材的边缘区域为450毫米±30毫米去除中心区域和中间区域的圆环。

11.如权利要求10所述的靶材，其特征在于，所述靶材的中心区域的铂元素百分比为6％，镍元素百分比为94％；所述靶材的中间区域的铂元素百分比为5％，镍元素百分比为95％；所述靶材的边缘区域的铂元素百分比为4.97％，镍元素百分比为95.03％。