[发明专利]一种可以调节固液界面温度梯度的坩埚盖板

说明书

技术领域

本发明涉及晶体生长热场结构，特别是一种可以调节固液界面温度梯度的坩埚盖板。

背景技术

在晶体生长中，温度梯度的控制十分重要；控制坩埚中固液界面的温度梯度更是生长出优质晶体材料的关键。不同的晶体材料不同的生长方法，对固液界面的要求不同；固液界面的梯度成为生长出优质晶体的关键技术，传统等厚开孔的坩埚盖板设计不能提供合适的温场(参见图1和图2)。

发明内容

本发明所解决的技术问题在于提供一种通过改变坩埚盖板来调节固液界面的梯度，并得到晶体生长所需要的高温和温度分布，从而提高了晶体尺寸和质量的一种可以调节固液界面温度梯度的坩埚盖板。

本发明所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：

一种可以调节固液界面温度梯度的坩埚盖板，主要用于晶体生长用坩埚上的坩埚盖板，其特征在于：所述坩埚盖板内壁在沿中心点处向外延伸，每个同心圆环的圆环面制有不同的厚度。

所述坩埚盖板的材料是高熔点金属或合金，或者是高熔点陶瓷，或者是石墨材料，或者是以上材料中任意的组合。

所述中心点到边缘之间连线除等厚外，呈线性、非线性、球面、非球面、椭圆、波浪形。

本发明的有益效果是将坩埚盖板内侧面制成非等厚，改变了热辐射、热对流和热传导，使得固液界面的温度分布到达工艺的要求，提高了晶体的尺寸和质量。

附图说明

图1是传统坩埚和坩埚盖板结构示意图；

图2是图1的俯视图；

图3是本发明坩埚盖板一种实施例示意图；

图4是图3的俯视图；

图5是本发明坩埚盖板另一种实施例示意图；

图6是图5的俯视图。

具体实施方式

为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本发明。

如图3、4所示，结合图1可知，一种可以调节固液界面温度梯度的坩埚盖板，主要用于晶体生长用坩埚1上的坩埚盖板2，坩埚盖板2由高熔点金属或合金，或者是高熔点陶瓷，或者是石墨材料，或者是以上材料中任意的组合制成。在沿坩埚盖板2内壁的中心点处向外延伸，每个同心圆环的圆环面制有不同的厚度，形成阶梯状21的台面。

如图5、6所示，在沿坩埚盖板2内壁的中心点处向外延伸，同心圆环的圆环面制有不同的厚度，形成直线性22的台面。

以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。