[发明专利]废水处理系统及其废水处理方法

说明书

技术领域：

本发明涉及环保领域，具体地讲，本发明涉及一种废水处理系统及其废水处理方法。

背景技术：

半导体芯片厂在划片研磨的工艺中，要用纯净的水冲洗研磨掉的硅粉颗粒，因此，研磨划片废水虽然浊度和色度很高，但只是含有硅粉的纯水。如果将水中的硅粉过滤出来，就可以将水和硅粉回收并重新利用。

传统的机械过滤及中空纤维超滤只能靠水力反向冲掉污染物，无法彻底去除污染物，所以在运行一段时间后，就会被彻底污堵，需要进行更换。

希望有一种废水处理方法能够有效地将研磨划片废水中的硅粉与水分离，使得硅粉和水得到重新利用。

发明内容：

本发明所要解决的技术问题是提供一种废水处理系统以及一种研磨划片废水处理方法，以有效地分离研磨划片废水中的硅粉与水，使得硅粉和水得到重新利用。

本发明所要解决的技术问题可通过如下技术方案来实现：

一种废水处理系统，包括废水池和净水池，其特征在于，所述废水处理系统还包括：

压滤机，所述压滤机通过第一管道、第一泵以及第一阀门与所述废水池流体连接并通过第二管道、第二泵以及转向阀门与所述净水池流体连接；

设置在第二管道上靠近压滤机出水口的位置的取样口；

其中，所述第二管道还通过上述转向阀门、第三管道、第三泵与废水池流体连接。

在压滤机地势高于废水池的情况下可以省略第二泵。

在压滤机地势高于净水池的情况下可以省略第三泵。

一种研磨划片废水处理方法，包括：

(1)打开第一阀和转向阀门，使废水池与压滤机之间形成流体通路；

(2)启动第一泵，将水从废水池泵唧到压滤机；

(3)在取样口对经过压滤机过滤的水进行抽样、检测；

(4)当步骤(3)中的水达到纯水标准后，转动转向阀门使压滤机与净水池中形成流体通路；

本发明研磨划片废水处理方法中，含有硅粉的废水经过多层滤板，滤板中的滤膜和滤布在滤板的支撑下将废水中的硅粉截流下来。

本领域技术人员可根据废水处理时废水流量以及取样检验确定压滤机中滤板的数量，还可以根据硅粉粒径确定滤板中滤膜和滤布的过滤精度，进行滤膜和滤布的选择。

与机械过滤和中空纤维超率过滤相比，采用本发明的研磨划片废水处理方法，由于可以在回收水的同时回收废水中的硅粉；水回收率可达100％，降低了废水处理化学品的消耗和污泥外运处理等成本.

附图说明

图1是本发明废水处理系统示意图；

图2是本发明方法中压滤机滤板的工作原理图。

下面结合附图和具体实施方式对本发明做进一步详细说明。

具体实施方式

为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体例，进一步阐述本发明。

如图1所示，本发明废水处理系统，包括废水池1、净水池2和压滤机3，压滤机3通过第一管道4、第一泵5以及第一阀门6与废水池1流体连接并通过第二管道7、转向阀门8以及第二泵9与净水池2流体连接；在第二管道上靠近压滤机出水口的位置处还设置有取样口10；第二管道7还通过转向阀门8、第三管道11、第三泵12与废水池1流体连接。

如图1中所示，先打开第一阀6和转向阀门8，使废水池1与压滤机3之间形成流体通路；然后启动第一泵5，将研磨划片废水从废水池1泵唧到压滤机3；在取样口10对经过压滤机过滤的水进行抽样、检测；如果检测到步骤(3)中的水达到纯水标准，转动转向阀门8使压滤机1与净水池3中形成流体通路，从而使经过压滤机过滤后得到的纯净水进入净水池；定时进行取样测试，如果检测到步骤(3)中的水含有较高含量的硅，如硅含量大于5ppm，关闭转向阀门，更换压滤机中的滤板，并将滤板上的硅粉回收再利用。

如图2中所示，本发明研磨划片废水处理方法中，含有硅粉的废水在压滤机中经过多块滤板13，滤膜14和滤布15在滤板13的支撑下将废水中的硅粉截流下来。

本实施例中，滤膜的过滤精度为0.5μm，滤布的过滤精度为0.2μm。

以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。