[发明专利]晶体硅太阳能电池片制绒液的自动循环补液系统及方法有效

专利信息
申请号: 200910196690.1 申请日: 2009-09-29
公开(公告)号: CN101667608A 公开(公告)日: 2010-03-10
发明(设计)人: 严俊;李敏 申请(专利权)人: 上海昕通半导体设备有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 上海泰能知识产权代理事务所 代理人: 宋 缨;孙 健
地址: 201600上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 晶体 太阳能电池 片制绒液 自动 循环 补液 系统 方法
【权利要求书】:

1.一种晶体硅太阳能电池片制绒液的自动循环补液系统,包括输液管路(1)、储液箱(2)和反应槽(8),其特征在于:所述的输液管路(1)与储液箱(2)相连,储液箱(2)、泵(5)、至少3个反应槽(8)、储液箱(2)依次相连形成循环回路,所述的储液箱(2)依次通过泵(5)、手动阀门(6)、自动阀门(7)及流量计(9)与反应槽(8)相连,所述的储液箱(2)、反应槽(8)及药液定量箱(11)内部都有加热系统和液位传感器(10),所述的储液箱(2)通过手动阀门(6)和自动阀门(7)与药液定量箱(11)相连。

2.根据权利要求1所述的一种晶体硅太阳能电池片制绒液的自动循环补液系统,其特征在于:所述的输液管路(1)中有自动阀门(7)和流量计(9),其数目与药液配方中的药液种类相对应。

3.根据权利要求1所述的一种晶体硅太阳能电池片制绒液的自动循环补液系统,其特征在于:所述的加热系统包括加热器(3)、温度传感器(4)及温控器,加热器(3)为不锈钢材质。

4.根据权利要求1所述的一种晶体硅太阳能电池片制绒液的自动循环补液系统,其特征在于:所述的反应槽(8)材质为不锈钢或PVDF或PP,槽体容积100-120L,槽内药液控制温度为75-85℃之间一值,槽内加热器最大功率4KW,反应槽有低液位,高液位两个液位点。

5.根据权利要求1所述的一种晶体硅太阳能电池片制绒液的自动循环补液系统,其特征在于:所述的储液箱(2)材质为不锈钢或PVDF或PP,箱体容积350-500L,箱内药液控制温度为75-85℃之间一值,箱内加热器最大功率80KW,储液箱有空液位、低液位、工作低液位、工作高液位、高液位五个液位点。

6.根据权利要求1所述的一种晶体硅太阳能电池片制绒液的自动循环补液系统,其特征在于:所述的药液定量箱(11)材质为不锈钢或PVDF或PP,箱体容积45L,箱内药液温度为室温,定量箱有低液位、工作液位、高液位三个液位点。

7.根据权利要求1所述的一种晶体硅太阳能电池片制绒液的自动循环补液系统,其特征在于:所述的泵(5)为大流量耐高温耐腐蚀性泵,出口流量及扬程满足每分钟置换至少3个反应槽内液体至少一次;所述的手动阀门和自动阀门为耐高温耐腐蚀性手动隔膜阀及自动隔膜阀。

8.一种使用权利要求1所述的一种晶体硅太阳能电池片制绒液的自动循环补液系统的方法,包括下列步骤:

(1)系统根据药液配制需要从输液管路往储液箱注入DIW及各种药液;

(2)打开循环管路中各个阀门,启动泵工作,药液由储液箱->泵->反应槽->储液箱,形成循环回路,实现药液配比、混合和供给;

(3)循环管路中流量计监控各反应槽流量是否满足要求,确保反应槽药液均匀;正常循环过程时,开启反应槽及储液箱的加热器,将反应液加热升温,利用温控器控制反应液温度控制在需要的工艺点;

(4)当反应槽内药液消耗后,定量箱内的药液补充至储液箱,药液的补充量相当于槽内该药液损失量,补液频率按时间或按批次来控制。

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