[发明专利]一种调平调焦机构及采用该平调焦机构的掩模台

权利要求书

1.一种调平调焦机构，其特征在于，该调平调焦机构包括球头差动微调机构和调平簧片，所述球头差动微调机构通过球头与所述调平簧片的边缘部分进行球面连接，所述调平簧片的边缘部分安装在掩模台底座下方，所述球头差动微调机构与所述调平簧片的中间部分安装在整机框架的上方，所述球头差动微调机构用以实现垂向调节，并且与所述调平簧片球面连接用以实现Rx、Ry两个方向的解耦。

2.如权利要求1所述的调平调焦机构，其特征在于：所述调平调焦机构包括三组球头差动微调机构。

3.如权利要求2所述的调平调焦机构，其特征在于：所述球头差动微调机构按三角形分布于所述调平簧片边缘。

4.如权利要求1所述的调平调焦机构，其特征在于：所述球头差动微调机构是球头差动螺母微调机构，包括差动螺母、紧固导向座、球头压块、消隙弹簧、导向销钉，所述球头差动螺母微调机构通过紧固导向座刚性连接在整机框架上，所述差动螺母与所述紧固导向座通过螺纹咬合组成主螺纹传动副，所述差动螺母与所述球头压块通过螺纹咬合组成副螺纹传动副，所述消隙弹簧连接所述球头压块和所述差动螺母，消除所述两个螺纹副之间的轴向间隙，所述导向销钉一端连接在所述紧固导向座上，另一端插入到球头压块的导向槽中，限制所述球头压块的转动。

5.如权利要求4所述的调平调焦机构，其特征在于：所述球头差动螺母微调机构还包括紧锁螺钉和球垫，所述紧锁螺钉穿过所述差动螺母固定到所述球头压块内，在垂向上固定所述球头差动螺母微调机构，所述球垫位于锁紧螺钉与所述差动螺母之间，实现所述锁紧螺钉在锁紧过程中其Rx、Ry两个自由度的解耦。

6.如权利要求4所述的调平调焦机构，其特征在于：所述球头差动螺母微调机构还包括驱动电机，该驱动电机带动所述差动螺母进行转动调节。

7.如权利要求1所述的调平调焦机构，其特征在于：所述球头差动微调机构是球头差动螺杆微调机构，包括差动螺杆、紧固导向座、球头压块、消隙弹簧、导向销钉，所述球头差动螺杆微调机构通过紧固导向座刚性连接在整机框架上，所述差动螺杆与所述紧固导向座通过螺纹咬合组成主螺纹传动副，所述差动螺杆与所述球头压块通过螺纹咬合组成副螺纹传动副，所述消隙弹簧连接所述球头压块和所述差动螺杆，消除所述两个螺纹副之间的轴向间隙，所述导向销钉一端连接在所述紧固导向座上，另一端插入到球头压块的导向槽中，限制所述球头压块的转动。

8.如权利要求7所述的调平调焦机构，其特征在于：所述球头差动螺杆微调机构还包括紧锁螺钉和球垫，所述紧锁螺钉穿过所述差动螺杆固定到所述球头压块内，在垂向上固定所述球头差动螺杆微调机构，所述球垫位于锁紧螺钉与所述差动螺杆之间，实现所述锁紧螺钉在锁紧过程中其Rx、Ry两个自由度的解耦。

9.如权利要求7所述的调平调焦机构，其特征在于：所述球头差动螺杆微调机构还包括驱动电机，该驱动电机带动所述差动螺杆进行转动调节。

10.如权利要求1所述的调平调焦机构，其特征在于：所述调平簧片由边缘连接块、柔性铰链和中心连接块依次由边缘至中心连接而成。

11.如权利要求10所述的调平调焦机构，其特征在于：所述调平簧片包括三个边缘连接块，按三角分布在所述调平簧片边缘，每个边缘连接块通过柔性铰链与中心连接块相连。

12.如权利要求10所述的调平调焦机构，其特征在于：所述调平簧片的边缘连接块带有球面支撑孔。

13.如权利要求12所述的调平调焦机构，其特征在于：所述球面支撑孔与所述球头压块通过球面进行连接，实现Rx、Ry两个方向的解耦。

14.一种掩模台，包括水平向调节机构、气浮轴承、掩模台底座，其特征在于，该掩模台还包括调平调焦机构，该掩模台的调平调焦机构包括球头差动微调机构和调平簧片，所述球头差动微调机构通过球头与所述调平簧片的边缘部分进行球面连接，所述调平簧片的边缘部分安装在掩模台底座下方，所述球头差动微调机构与所述调平簧片的中间部分安装在整机框架的上方，所述球头差动微调机构用以实现垂向调节，并且与所述调平簧片球面连接用以实现Rx、Ry两个方向的解耦。

15.如权利要求14所述的掩模台，其特征在于：所述调平调焦机构包括三组球头差动微调机构。