[发明专利]一种扩展电阻测试样品制备方法及样品研磨固定装置有效
申请号: | 200910197373.1 | 申请日: | 2009-10-19 |
公开(公告)号: | CN102042798A | 公开(公告)日: | 2011-05-04 |
发明(设计)人: | 李震远;宋洁;陈彬 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | G01B7/06 | 分类号: | G01B7/06;G01R27/02;B24B1/00;B24B41/06 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 20120*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 扩展 电阻 测试 样品 制备 方法 研磨 固定 装置 | ||
1.一种扩展电阻测试样品制备方法,包括以下步骤:
将样品固定于与水平面具有固定角度的样品台的斜面上并将所述样品台固定于样品研磨固定装置上;
将所述样品研磨固定装置放置于粗磨磨具上,使得所述样品能够以特定角度同所述粗磨磨具接触,对所述样品进行粗磨;
将所述样品研磨固定装置放置于细磨磨具上,使得所述样品能够以特定角度同所述细磨磨具接触,对所述样品进行细磨抛光。
2.如权利要求1所述的扩展电阻测试样品制备方法,其特征在于,所述对对所述样品进行粗磨的步骤包括:使用磨盘作为所述粗磨磨具对所述样品进行研磨。
3.如权利要求2所述的扩展电阻测试样品制备方法,其特征在于,所述对对所述样品进行粗磨的步骤还包括:使用所述磨盘对样品进行研磨之后还使用细研磨砂纸作为所述粗磨磨具对所述样品进行研磨。
4.如权利要求2所述的扩展电阻测试样品制备方法,其特征在于,所述使用磨盘对所述样品进行研磨的步骤包括:将所述样品研磨固定装置固定于所述磨盘上,调整所述样品研磨固定装置的高度和水平,使所述样品以特定角度与所述磨盘接触,然后驱动所述磨盘对所述样品进行研磨。
5.如权利要求3所述的扩展电阻测试样品制备方法,其特征在于,所述使用细研磨砂纸对所述样品进行研磨的步骤包括:将所述细研磨砂纸固定于转盘上,将所述样品研磨固定装置固定于所述细研磨砂纸上,调整所述样品研磨固定装置的高度和水平,使所述样品以特定角度与所述细研磨砂纸接触,然后驱动所述转盘对所述样品进行研磨。
6.如权利要求5所述的扩展电阻测试样品制备方法,其特征在于,首先使用研磨颗粒直径较大的细研磨砂纸进行研磨,而后换用研磨颗粒直径较小的细研磨砂纸进行研磨。
7.如权利要求1所述的扩展电阻测试样品制备方法,其特征在于,所述对所述样品进行细磨抛光的步骤包括:使用毛玻璃转盘作为所述细磨磨具,将所述样品研磨固定装置固定于所述毛玻璃转盘上,调整所述样品研磨固定装置的高度和水平,使所述样品以特定角度与所述毛玻璃转盘接触,然后驱动所述毛玻璃转盘对所述样品进行研磨。
8.如权利要求7所述的扩展电阻测试样品制备方法,其特征在于,研磨时所述毛玻璃转盘的表面涂抹有钻石膏和油混合制成的磨料。
9.一种为实施如权利要求1所述的扩展电阻测试样品制备方法而设计的样品研磨固定装置,包括样品支架,所述样品支架的顶面上安装有千分尺旋钮,用以调节所述样品支架的高度和水平;所述样品支架的底端具有耐磨支脚;所述样品支架的中心设置有螺栓固定通孔,所述螺栓固定通孔内固定有螺栓,所述螺栓的顶端固定于所述样品支架的顶面上,所述螺栓的底端突出于所述样品支架的底面,所述螺栓的底端具有螺纹,用于固定样品。
10.如权利要求9所述的样品研磨固定装置,其特征在于,所述样品支架顶面的螺栓通孔上还设置有垫片。
11.如权利要求9所述的样品研磨固定装置,其特征在于,所述千分尺旋钮为一个或多个。
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