[发明专利]一种紫外纳米压印抗蚀剂及其组成

权利要求书

1.一种自由基固化的纳米压印抗蚀剂，按质量百分比，其组成为：

(甲基)丙烯酸酯预聚物60％～80％

单体5％～30％

光引发剂1％～6％

助剂0.01％～10％，各组份的质量之和为100％，

其中，(甲基)丙烯酸酯预聚物由超支化聚酯丙烯酸酯、芳香族(甲基)丙烯酸酯、环氧(甲基)丙烯酸酯、脂肪族(甲基)丙烯酸酯、脂肪族聚氨酯(甲基)丙烯酸酯的一种或多种组成。

单体由(甲基)丙烯酸异冰片酯、(甲基)丙烯酸2-苯氧基乙基酯、甲氧基聚乙二醇单丙烯酸酯、乙氧化壬基酚丙烯酸酯，1，3-丁二醇二丙烯酸酯、1，6-己二醇二丙烯酸酯、新戊二醇二丙烯酸酯、二缩三丙二醇二丙烯酸酯、三缩四乙二醇二丙烯酸酯、二丙二醇二丙烯酸酯、丙氧化新戊二醇二丙烯酸酯、二缩三乙二醇二甲基丙烯酸酯、乙二醇二甲基丙烯酸酯、聚乙二醇二甲基丙烯酸酯、1，4-丁二醇二甲基丙烯酸酯的一种或多种组成。

光引发剂由二苯甲酮、安息香双甲醚、2-甲基-1-[4-(甲基硫代)苯基]-2-(4-吗啉基)-1-丙酮、2-苯基苄-2-二甲基胺-1-(4-吗啉苄苯基)丁酮、1-羟基-环己基-苯基甲酮、2-羟基-2-甲基-1-苯基丙酮的一种或多种组成。

2.根据权利要求1所述的抗蚀剂成分，其特征在于，所述抗蚀剂不含硅和金属元素。

3.根据权利要求1所述的抗蚀剂成分，其特征在于，所述助剂按质量百分比，为氟含量大于2％的表面活性剂。