[发明专利]一种从含有重掺的硅料中分离硅料的方法有效
申请号: | 200910197608.7 | 申请日: | 2009-10-23 |
公开(公告)号: | CN102040222A | 公开(公告)日: | 2011-05-04 |
发明(设计)人: | 汪贺杏;施美生;王明辉 | 申请(专利权)人: | 上海九晶电子材料股份有限公司 |
主分类号: | C01B33/037 | 分类号: | C01B33/037 |
代理公司: | 上海天翔知识产权代理有限公司 31224 | 代理人: | 陈学雯 |
地址: | 201617 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 含有 硅料中 分离 方法 | ||
1.一种从含有重掺的硅料中分离硅料的方法,至少包括:
将含有重掺的硅料投入到酸洗液中处理,得到第一沉淀物及上浮物,调节第一沉淀物的酸碱度至中性。
2.根据权利要求1所述的一种从含有重掺的硅料中分离硅料的方法,其特征在于所述酸洗液为氟化氢、硝酸、醋酸、水的混合物,所述氟化氢、硝酸、醋酸的质量百分比浓度为48-52%、69-72%、98-99%,氟化氢、硝酸、醋酸、水的体积比为1∶3∶16-17∶9-11。
3.根据权利要求1或2所述的一种从含有重掺的硅料中分离硅料的方法,其特征在于该方法还包括:将调节酸碱度至中性后的第一沉淀物,投入到腐蚀液中处理,得到第二沉淀物,调节第二沉淀物至中性并干燥得到硅料。
4.根据权利要求3所述的一种从含有重掺的硅料中分离硅料的方法,其特征在于所述腐蚀液为氟化氢、硝酸、醋酸、水的混合物,所述氟化氢、硝酸、醋酸的质量百分比浓度为48-52%、69-72%、98-99%,氟化氢、硝酸、醋酸、水的混合物的体积比为1∶3∶6-8∶4-6。
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