[发明专利]一种从含有重掺的硅料中分离硅料的方法有效

专利信息
申请号: 200910197608.7 申请日: 2009-10-23
公开(公告)号: CN102040222A 公开(公告)日: 2011-05-04
发明(设计)人: 汪贺杏;施美生;王明辉 申请(专利权)人: 上海九晶电子材料股份有限公司
主分类号: C01B33/037 分类号: C01B33/037
代理公司: 上海天翔知识产权代理有限公司 31224 代理人: 陈学雯
地址: 201617 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 含有 硅料中 分离 方法
【权利要求书】:

1.一种从含有重掺的硅料中分离硅料的方法,至少包括:

将含有重掺的硅料投入到酸洗液中处理,得到第一沉淀物及上浮物,调节第一沉淀物的酸碱度至中性。

2.根据权利要求1所述的一种从含有重掺的硅料中分离硅料的方法,其特征在于所述酸洗液为氟化氢、硝酸、醋酸、水的混合物,所述氟化氢、硝酸、醋酸的质量百分比浓度为48-52%、69-72%、98-99%,氟化氢、硝酸、醋酸、水的体积比为1∶3∶16-17∶9-11。

3.根据权利要求1或2所述的一种从含有重掺的硅料中分离硅料的方法,其特征在于该方法还包括:将调节酸碱度至中性后的第一沉淀物,投入到腐蚀液中处理,得到第二沉淀物,调节第二沉淀物至中性并干燥得到硅料。

4.根据权利要求3所述的一种从含有重掺的硅料中分离硅料的方法,其特征在于所述腐蚀液为氟化氢、硝酸、醋酸、水的混合物,所述氟化氢、硝酸、醋酸的质量百分比浓度为48-52%、69-72%、98-99%,氟化氢、硝酸、醋酸、水的混合物的体积比为1∶3∶6-8∶4-6。

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