[发明专利]光致弯曲膜驱动型微泵

权利要求书

1.一种光致弯曲膜驱动型微泵，其特征在于包含泵膜、泵腔和出入口；其中，泵膜 由两层构成，上层材料采用光致弯曲形变材料，下层材料采用柔性高分子材料，上层与下 层之间通过粘结剂粘结，所述泵膜上层的面积小于下层，为局部复合；泵膜光致弯曲变形 引起腔体压力变化从而将流体从输入管道转移到输出管道；其中，所述光致弯曲形变材料， 其是在紫外光照射下产生弯曲形变，在可见光作用下形变恢复。

2.如权利要求1所述的微泵，其特征在于，所述泵膜下层柔性高分子材料采用聚乙 烯、聚丙烯、天然橡胶中的一种，其弹性模量比光致弯曲形变材料的弹性模量小一半以上。

3.如权利要求2所述的微泵，其特征在于，所述粘结剂选自聚丙烯酸酯类粘结剂、 聚氨酯类粘结剂、环氧树脂类粘结剂、橡胶类粘结剂中的一种。

4.如权利要求1所述的光致弯曲膜驱动型微泵的驱动方法，其特征在于，利用光照 射微泵中泵膜的光致弯曲形变材料使之产生形变。

5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，先用紫外光照射光致弯曲形变材料构成 的上层，使该层产生收缩，然后换用可见光照射，使该层恢复原始状态。

6.一种连级泵，其特征在于由多级如权利要求1所述的光致弯曲膜驱动型微泵级联 组成，在同一方向分别照射不同光源时，前一级泵和后一级泵连续动作，即将前一级泵的 泵腔的出水口同后一级泵的泵腔的入水口相通，当向前一级泵的泵膜照射紫外光，而向后 一级泵的泵膜照射可见光，前一级泵的入水阀打开，出水阀关闭，后一级泵的进水阀关闭， 出水阀打开，则前一级泵的泵腔吸水，后一级泵的泵腔排水；反之，当向前一级泵的泵膜 照射可见光，而向后一级泵的泵膜照射紫外光，则前一级泵的泵腔排水，后一级泵的泵腔 吸水，如此便可连续工作，构成连级泵系统。