[发明专利]光扩散器散射特性测量装置及其方法

权利要求书

1.一种光扩散器散射特性测量装置，其特征在于，用于光扩散器散射特性参数的测量，包括光源、照明物镜、光扩散器运动平台、探测器、探测器运动平台和探测器读数装置；

所述光源、照明物镜、光扩散器运动平台和探测器运动平台依次排列；

所述探测器设置在探测器运动平台上；

被测光扩散器设置在光扩散器运动平台上；

所述探测器读数装置的输入端与探测器的输出端连接；

所述光源、照明物镜、被测光扩散器和探测器同光轴设置；

所述光源发出的光束经所述照明物镜入射到所述被测光扩散器，入射到所述被测光扩散器的光束经该被测光扩散器散射后由所述探测器接收，所述探测器探测经所述被测光扩散器散射的光束的光强，并将光强信号传输给所述探测器读数装置，所述探测器读数装置记录数据，并根据记录的数据计算相应的所述被测光扩散器的散射特性参数。

2.如权利要求1所述的光扩散器散射特性测量装置，其特征在于，所述光源为可调谐准分子激光光源。

3.如权利要求2所述的光扩散器散射特性测量装置，其特征在于，所述可调谐准分子激光光源发射193nm波长的深紫外光时，所述照明物镜的数值孔径为0.17～0.05。

4.如权利要求2所述的光扩散器散射特性测量装置，其特征在于，所述可调谐准分子激光光源发射248nm波长的深紫外光时，所述照明物镜的数值孔径为0.13～0.04。

5.如权利要求3或4所述的光扩散器散射特性测量装置，其特征在于，所述探测器为互补金属氧化物半导体探测器，其感光像元表面涂敷有荧光转换材料，能将深紫外光转换为可见光。

6.一种如权利要求1所述的光扩散器散射特性测量装置的测量方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤S1，根据测试项目调整光扩散器散射特性测量装置的光路；

步骤S2，打开光源，光源发射光束入射到被测光扩散器，被测光扩散器对入射光束产生散射作用；

步骤S3，探测器探测被测光扩散器的散射光强，并将光强信号发送给探测器读数装置；

步骤S4，探测器读数装置记录数据，并根据记录的数据计算相应的散射特性参数。

7.如权利要求6所述的测量方法，其特征在于，所述步骤S1中测试项目指需要测量的光扩散器的散射特性参数。

8.如权利要求7所述的测量方法，其特征在于，所述光扩散器的散射特性参数包括扩散器的散射角、扩散器的透过率、扩散器散射角与入射角的关系以及扩散器的对光刻投影物镜光瞳非均匀性的改善。

9.如权利要求6所述的测量方法，其特征在于，所述步骤S3中探测器通过其感光像元表面涂敷的荧光转换材料将深紫外光转换为可见光，对可见光光强进行探测。