[发明专利]封装基板的线路架桥制造方法有效
申请号: | 200910200357.3 | 申请日: | 2009-12-11 |
公开(公告)号: | CN102097331A | 公开(公告)日: | 2011-06-15 |
发明(设计)人: | 李俊哲;方仁广;罗光淋;高洪涛;任金虎;孙骐;林聪志 | 申请(专利权)人: | 日月光半导体(上海)股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48 |
代理公司: | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人: | 翟羽 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 封装 线路 架桥 制造 方法 | ||
1.一种封装基板的线路架桥制造方法,其特征在于:所述制造方法包含:
提供一封装基板;
在所述封装基板的一第一表面制做一第一线路层,其具有一第一电极部及二接点;
在所述第一线路层上设置一图案化的防焊层,以形成二开口裸露所述接点;
在所述图案化的防焊层上制做一第二线路层,其具有二导电柱及一第二电极部,所述导电柱通过所述开口电性连接所述接点;及
去除所述图案化的防焊层,其中所述第二电极部的两端受所述导电柱的支持,及所述第二电极部悬空位于所述第一电极部的上方,以构成一线路架桥结构。
2.如权利要求1所述的封装基板的线路架桥制造方法,其特征在于:所述封装基板为单层印刷电路板或多层印刷电路板;所述第一线路层及所述第二线路层的材质是铜或其合金;所述防焊材料是环氧树脂系防焊材料。
3.如权利要求1所述的封装基板的线路架桥制造方法,其特征在于:在设置所述图案化的防焊层时,通过印刷防焊材料来形成所述图案化的防焊层;或者,先通过涂布防焊材料再曝光及显影来形成所述图案化的防焊层。
4.如权利要求1所述的封装基板的线路架桥制造方法,其特征在于:所述第二电极部是以平行或垂直于所述第一电极部的延伸方向设置在所述第一电极部的上方。
5.如权利要求1所述的封装基板的线路架桥制造方法,其特征在于:所述线路架桥结构是一电磁开关。
6.如权利要求5所述的封装基板的线路架桥制造方法,其特征在于:所述第二电极部的长度为所述第一电极部及第二电极部的间距的5至20倍,使所述第二电极部在通电后能向下弹性变形接触所述第一电极部。
7.如权利要求1所述的封装基板的线路架桥制造方法,其特征在于:在构成所述线路架桥结构后,另在所述第一电极部、所述第二电极部及所述导电柱的表面涂布一保护层。
8.如权利要求1所述的封装基板的线路架桥制造方法,其特征在于:所述保护层选自具反应惰性的金属镀层。
9.如权利要求1所述的封装基板的线路架桥制造方法,其特征在于:在构成所述线路架桥结构后,对所述封装基板进行增层作业,以形成多层印刷电路板,使所述线路架桥结构位于所述多层印刷电路板内部的一中空腔室内。
10.如权利要求1所述的封装基板的线路架桥制造方法,其特征在于:在构成所述线路架桥结构后,另在所述封装基板的一第二表面制做另一线路架桥结构。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造