[发明专利]机械扫描工件的装置

权利要求书

1.一种机械扫描工件的装置，其特征在于，其包括：

一真空腔，该真空腔一侧的侧壁上设有一长条形开口；

一密封板，该密封板通过一滑动密封机构与该真空腔的设有该开口的侧壁外表面可相对滑动地密封连接，并且该密封板在相对于该真空腔侧壁滑动的过程中保持该开口与大气环境的真空隔离；

一滑动杆，该滑动杆横向轴设于该密封板上并穿过该开口、且一端位于该真空腔中而另一端位于大气环境中，该滑动杆通过一空气轴承与该密封板密封连接；

一马达单元，用于驱动该滑动杆的运动；

一工件支架，固设于该滑动杆的位于该真空腔中的一端，用于支撑工件。

2.如权利要求1所述的机械扫描工件的装置，其特征在于，该马达单元包括：

一第一马达，用于驱动该滑动杆沿其中轴线平移；

一第二马达，用于驱动该滑动杆绕其中轴线旋转；

一第三马达，用于驱动该滑动杆沿该开口的长度方向平移，并连动该密封板相对于该真空腔侧壁滑动。

3.如权利要求2所述的机械扫描工件的装置，其特征在于，该开口的长度方向沿纵向，该第三马达驱动该滑动杆在该开口中纵向平移，并连动该密封板相对于该真空腔侧壁纵向滑动。

4.如权利要求2或3所述的机械扫描工件的装置，其特征在于，该机械扫描工件的装置还包括一第四马达，该工件支架在该第四马达的驱动下使工件绕一垂直于该滑动杆中轴线的旋转轴旋转。

5.如权利要求1所述的机械扫描工件的装置，其特征在于，该滑动密封机构采用多级真空密封。

6.如权利要求1所述的机械扫描工件的装置，其特征在于，该工件支架采用静电方式或机械方式支撑工件。