[发明专利]一种金属防腐清洗液

权利要求书

1.一种金属防腐清洗液，其包含：溶剂、金属络合剂及一种或多种星型聚合物表面活性剂。

2.如权利要求1所述清洗液，其特征在于，所述星型结构的聚合物表面活性剂具有颜料亲和基团。

3.如权利要求2所述清洗液，其特征在于，所述的颜料亲和基团为羟基、氨基和羧基中的一种或多种。

4.如权利要求3所述清洗液，其特征在于，形成所述的含颜料亲和基团的星型聚合物的聚合单体包括下列中的一种或多种：丙烯酸类单体、丙烯酸酯类单体、丙烯酰胺类单体和环氧乙烷。

5.如权利要求4所述清洗液，其特征在于，所述的丙烯酸类单体为丙烯酸和/或甲基丙烯酸；所述的丙烯酸酯类单体为丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸乙酯、丙烯酸丙酯、甲基丙烯酸丙酯、丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸丁酯、丙烯酸羟乙酯和甲基丙烯酸羟乙酯中的一种或多种；所述的丙烯酰胺类单体为丙烯酰胺和/或甲基丙烯酰胺。

6.如权利要求4所述清洗液，其特征在于，形成所述的含颜料亲和基团的星型聚合物的单体还包括其他乙烯基类单体。

7.如权利要求6所述清洗液，其特征在于，所述的其他乙烯基类单体为乙烯、丙烯、苯乙烯或对甲基苯乙烯。

8.如权利要求2所述清洗液，其特征在于，所述的含颜料亲和基团的星型聚合物为聚丙烯酸星型均聚物，苯乙烯与丙烯酸羟乙酯的二元星型共聚物，对甲基苯乙烯与环氧乙烷的二元星型共聚物，苯乙烯与环氧乙烷的二元星型共聚物，甲基丙烯酸甲酯与环氧乙烷的二元星型共聚物，丙烯酸甲酯与丙烯酸羟乙酯的二元星型共聚物，丙烯酸与丙烯酸羟乙酯的二元星型共聚物，以及丙烯酸、丙烯酸丁酯和丙烯酰胺的三元星型共聚物中的一种或多种。

9.如权利要求2所述清洗液，其特征在于，所述的含颜料亲和基团的星型聚合物的数均分子量为800-50000。

10.如权利要求2所述清洗液，其特征在于，所述的含颜料亲和基团的星型聚合物的含量为质量百分比0.0001～5％。

11.如权利要求1所述的化学机械抛光液，其特征在于：所述的络合剂为下述化合物中的一种或多种：氨羧化合物及其盐、有机羧酸及其盐、有机膦酸及其盐。

12.如权利要求11所述的化学机械抛光液，其特征在于：所述的氨羧化合物为甘氨酸、丙氨酸、缬氨酸、亮氨酸、脯氨酸、苯丙氨酸、酪氨酸、色氨酸、赖氨酸、精氨酸、组氨酸、丝氨酸、天冬氨酸、谷氨酸、天冬酰胺、谷氨酰胺、氨三乙酸、乙二胺四乙酸、环己烷四乙酸、乙二胺二琥珀酸、二乙烯三胺五乙酸和三乙烯四胺六乙酸中的一种或多种；所述的有机羧酸为醋酸、草酸、柠檬酸、酒石酸、丙二酸、丁二酸、苹果酸、乳酸、马来酸、没食子酸和磺基水杨酸中的一种或多种；所述的有机膦酸为2-膦酸丁烷-1，2，4-三羧酸、氨基三甲叉膦酸、羟基乙叉二膦酸、乙二胺四甲叉膦酸、二乙烯三胺五甲叉膦酸、2-羟基膦酸基乙酸、乙二胺四甲叉膦酸和多氨基多醚基甲叉膦酸中的一种或多种；所述的盐为钾盐、钠盐或铵盐。

13.如权利要求1所述的化学机械抛光液，其特征在于：所述的络合剂的含量为质量百分比0.01～10％。

14.如权利要求1所述清洗液，其特征在于，所述的清洗液还可以含有醇和/或醇醚等溶剂。

15.如权利要求14所述清洗液，其特征在于，所述的醇和/或醇醚溶剂为乙二醇、丙二醇、丙三醇、二乙二醇、一缩二乙二醇、以及这些醇的甲醚、乙醚、丙醚和丁醚等。

16.如权利要求14所述清洗液，其特征在于，所述的醇和/或醇醚溶剂的含量为质量百分比1～20％。