[发明专利]一种旋转台

权利要求书

1.一种旋转台，其特征在于，包括基板、垂向支撑机构、通过垂向支撑机构支撑在所述基板上的工作台、旋转中心定位机构及驱动机构，所述旋转中心定位机构连接所述基板和工作台，并使工作台绕所述旋转中心定位机构的中心相对基板做旋转运动，所述驱动机构包括直线电机，并将直线电机的直线运动转化为工作台的旋转运动。

2.如权利要求1所述的旋转台，其特征在于，所述垂向支撑机构包括固定在所述基板上的垫板，与所述垫板相接触的钢珠滚轮及一螺柱，所述螺柱套设在所述钢珠滚轮外面，并旋入所述工作台中。

3.如权利要求2所述的旋转台，其特征在于，所述基板和所述工作台之间设有垂向预紧弹簧，所述垂向预紧弹簧将所述钢珠滚轮的滚子部分压紧在所述垫板上，所述钢珠滚轮在水平方向自由滚动。

4.如权利要求2所述的旋转台，其特征在于，所述螺柱与所述工作台通过螺纹连接，以调节支撑机构的高度。

5.如权利要求2所述的旋转台，其特征在于，所述垂向支撑机构的数量为三套。

6.如权利要求1所述的旋转台，其特征在于，所述旋转中心定位机构由竖直簧片和位于竖直簧片上面的圆簧片组成，所述旋转中心定位机构的顶部固定在工作台上，且其底部固定在基板上。

7.如权利要求6所述的旋转台，其特征在于，所述竖直簧片的数量为四个，所述四个竖直簧片按十字形式布置，当所述工作台绕竖直方向旋转时，所述竖直簧片发生扭转，同时产生垂直方向的微位移，该微位移由所述圆簧片补偿。

8.如权利要求1所述的旋转台，其特征在于，所述驱动机构还包括凸轮随动器和推板，所述凸轮随动器与所述推板相耦合，所述推板与所述工作台连接，所述凸轮随动器在直线电机的驱动下使推板运动，并带动所述工作台绕旋转中心定位机构的中心做旋转运动。

9.如权利要求8所述的旋转台，其特征在于，所述凸轮随动器与所述推板通过一水平预紧拉簧耦合在一起。

10.如权利要求8所述的旋转台，其特征在于，所述驱动机构还包括一导轨，所述直线电机包括动子和定子，所述定子和所述导轨安装在所述基板上，所述动子经过一动子转接板安装到所述导轨上，所述凸轮随动器安装到所述动子上，并随动子一起沿所述导轨作直线运动。

11.如权利要求1所述的旋转台，其特征在于，还包括一测量机构，所述测量机构为工作台竖直旋转方向测量光栅尺，所述测量光栅尺的刻度尺部分安装在工作台上，其读头部分安装到基板上。