[发明专利]对超厚金属沟槽边缘的过刻蚀深度进行监测的方法

权利要求书

1.一种对超厚金属沟槽边缘的过刻蚀深度进行监测的方法，包括：

在形成第一层之后，在第二层中形成第一层与第三层的超厚金属沟槽之间的中心通孔，在中心通孔中填入金属构成中心连线，并形成第一层与第三层的超厚金属沟槽边缘的过刻蚀处之间的边缘通孔，在边缘通孔中填入金属构成边缘连线，所述中心连线和所述边缘连线具有相同的横截面积和相同的高度；

在第三层中刻蚀超厚金属沟槽，在刻蚀的超厚金属沟槽中填入金属；

分别测出中心连线电阻和边缘连线未被包裹部分电阻；

根据测出的中心连线电阻和边缘连线未被包裹部分电阻，计算得到超厚金属沟槽边缘过刻蚀的深度。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述计算超厚金属沟槽边缘过刻蚀的深度包括：

用边缘连线未被包裹部分电阻与中心连线电阻相除，再用1减去相除得到的值，得到相减值，最后用所述中心连线的高度乘以所述相减值，得到的乘积为超厚金属沟槽边缘过刻蚀的深度。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在刻蚀超厚金属沟槽之前，形成关于中心通孔与第一层之间接触处的两个中心测试连线通孔，形成关于边缘通孔与第一层之间接触处的两个边缘测试连线通孔，在所述中心测试连线通孔中填入金属构成中心测试连线，在所述边缘测试连线通孔中填入金属构成边缘测试连线；

所述分别测试出中心连线电阻和边缘连线未被包裹部分电阻包括：从超厚金属沟槽引出两条测试连线，与衬垫相连；对与中心测试连线连接的衬垫、与边缘测试连线连接的衬垫，以及与所述测试连线连接的衬垫进行通电，分别测试出中心连线电阻和边缘连线未被包裹部分电阻。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述中心通孔和边缘通孔的横截面都是边长为0.36微米的正方形。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述形成第一层与第三层的超厚金属沟槽边缘的过刻蚀处之间的边缘通孔的方法包括：

形成第一层与第三层的距离超厚金属沟槽侧边的指定距离处之间的边缘通孔。

6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述指定距离为0至0.5微米之间的值。