[发明专利]多单元射频晶体管的射频参数模拟方法

权利要求书

1.一种多单元射频晶体管的射频参数模拟方法，其特征在于，包括以下步骤：

一.设计多单元射频晶体管总结构中用于重复并联的各单个射频晶体管单元的版图结构，并对各单个射频晶体管单元的版图结构进行射频测试，得到各单个射频晶体管单元的版图结构的射频参数；

二.将多单元射频晶体管多个射频晶体管单元之间的相互连线结构的版图文件调入电磁仿真软件，对多个射频晶体管单元之间的相互连线结构进行电磁仿真得到多个射频晶体管单元之间的相互连线结构的射频参数；

三.将所述多个射频晶体管单元之间的相互连线结构的射频参数同所有各单个射频晶体管单元的版图结构的射频参数进行射频参数的叠加得到多单元射频晶体管总结构的射频参数。

2.根据权利要求1所述的多单元射频晶体管的射频参数模拟方法，其特征在于，将多单元射频晶体管多个射频晶体管单元之间的相互连线结构的版图文件调入电磁仿真软件，同时在电磁仿真软件中定义和多单元射频晶体管结构生产工艺完全匹配的金属和介质层参数，然后对多个射频晶体管单元之间的相互连线结构进行电磁仿真得到多个射频晶体管单元之间的相互连线结构的射频参数。