[发明专利]光波导路的制造方法

权利要求书

1.一种光波导路的制造方法，其特征在于，具备以下工序：

形成下部包层；

在该下部包层的表面上形成用于形成芯体的第一感光性树 脂层；

对该用于形成芯体的第一感光性树脂层实施规定图案的曝 光，将该曝光部分形成为芯体；

在上述曝光后，利用用于形成上部包层的第二感光性树脂 层覆盖由上述用于形成芯体的第一感光性树脂层的曝光部分构 成的芯体以及未曝光部分的表面；

对上述第一和第二感光性树脂层进行加热，将上述用于形 成芯体的第一感光性树脂层的未曝光部分的树脂与用于形成上 部包层的第二感光性树脂层的树脂熔融混合而成为混合层；以 及

对上述混合层进行曝光，将曝光后的该混合层形成为第三 包层。

2.一种光波导路的制造方法，其特征在于，具备以下工序：

形成用于形成下部包层的第一感光性树脂层；

在该用于形成下部包层的第一感光性树脂层的表面上形成 用于形成芯体的第二感光性树脂层；

在该用于形成芯体的第二感光性树脂层的表面上形成用于 形成上部包层的第三感光性树脂层；

对上述第一、第二以及第三感光性树脂层实施规定图案的 曝光，将上述第一、第二以及第三感光性树脂层的曝光后的部 分分别形成为下部包层、芯体、上部包层；

在上述曝光后，对上述第一、第二以及第三感光性树脂层 进行加热，将上述第一、第二以及第三感光性树脂层的未曝光 部分的树脂熔融混合而成为混合层，使其与由上述第一、第二 以及第三感光性树脂层的曝光部分构成的下部包层、芯体、上 部包层相邻接；以及

对上述混合层进行曝光，将曝光后的该混合层形成为第三 包层。

3.根据权利要求2所述的光波导路的制造方法，其特征在 于，

其中对上述第一、第二以及第三感光性树脂层实施规定图 案的曝光的工序中，对上述第一、第二以及第三感光性树脂层 同时进行曝光。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的光波导路的制造方 法，其特征在于，

在100～200℃的范围、5～30分钟的范围进行上述加热。