[发明专利]缺陷修复装置和缺陷修复方法

权利要求书

1.一种缺陷修复装置，包括：

缺陷检测单元，用于检查其上形成有重复图案的多层基板，并且 提取关于所述重复图案中的缺陷的位置信息以及关于所述缺陷的特 征信息；

数据库，多个缺陷修复技术被登记在该数据库中；

缺陷修复单元，用于利用指定的缺陷修复技术来修复所述多层基 板的缺陷；

控制单元，用于基于所述多层基板的层结构从所述数据库中读取 针对所述缺陷检测单元检测出的缺陷的缺陷修复技术，并且控制利用 该缺陷修复技术来修复所述缺陷的所述缺陷修复单元，

其中，所述控制单元包括：

区域信息获得单元，用于获得所述缺陷的区域信息即第一区域信 息；

区域匹配率/不匹配率计算单元，用于计算由所述区域信息获得 单元获得的第一区域信息和所述重复图案中的预先登记的区域信息 即第二区域信息之间的区域匹配率和区域不匹配率；

缺陷区域判断水平计算单元，用于基于预定的阈值来判断由所述 区域匹配率/不匹配率计算单元计算出的区域匹配率和区域不匹配率 的水平；

模板选择判断水平计算单元，用于基于所述缺陷区域判断水平计 算单元的判断结果来选择表示缺陷修复技术的模板；

模板输出判断水平计算单元，用于基于预定的判断水平，确定由 所述模板选择判断水平计算单元所选择的模板的输出优先次序；以及

缺陷修复执行单元，用于利用基于所述模板输出判断水平计算单 元所确定的优先次序的缺陷修复技术来控制所述缺陷修复单元。

2.根据权利要求1所述的缺陷修复装置，其中，所述控制单元 将实际缺陷的区域信息即第一区域信息的组成和与所述重复图案中 的缺陷对应的预先登记的区域信息即第二区域信息的组成进行比较， 以基于比较结果从所述数据库中读取所述缺陷修复技术。

3.根据权利要求2所述的缺陷修复装置，其中，所述区域信息 的组成包括层信息和标签信息，所述层信息表示关于组成所述多层基 板的各个层的信息，所述标签信息表示关于组成所述层的各个区域即 标签的信息。

4.根据权利要求3所述的缺陷修复装置，

其中，所述层信息包括：表示层的次序的层ID、层名称、层中 的标签数，并且

其中，所述标签信息包括标签ID和层ID，所述标签ID用于识 别所述层中的标签，所述层ID表示包括所述标签的层。

5.根据权利要求4所述的缺陷修复装置，其中，所述数据库中 登记有地图数据，该地图数据是如下得到的：将已被登记为区域信息 的组成的层信息和标签信息展开为所述重复图案中的坐标值。

6.一种缺陷修复方法，包括：

第一步骤，缺陷检测单元检测其上形成有重复图案的多层基板， 并且提取关于所述重复图案中的缺陷的位置信息和关于所述缺陷的 特征信息；

第二步骤，控制单元基于所述多层基板的层结构，从数据库中读 取针对第一步骤中检测出的缺陷的缺陷修复技术；以及

第三步骤，控制单元控制利用第二步骤中所读取的缺陷修复技术 来修复所述缺陷的缺陷修复单元，

所述控制单元执行如下步骤：

区域信息获得步骤，区域信息获得单元获得所述缺陷的区域信息 即第一区域信息；

区域匹配率/不匹配率计算步骤，区域匹配率/不匹配率计算单元 计算由所述区域信息获得单元获得的第一区域信息和所述重复图案 中的预先登记的区域信息即第二区域信息之间的区域匹配率和区域 不匹配率；

缺陷区域判断水平计算步骤，缺陷区域判断水平计算单元基于预 定的阈值来判断由所述区域匹配率/不匹配率计算单元计算出的区域 匹配率和区域不匹配率的水平；

模板选择判断水平计算步骤，模板选择判断水平计算单元基于所 述缺陷区域判断水平计算单元的判断结果来选择表示缺陷修复技术 的模板；

模板输出判断水平计算步骤，模板输出判断水平计算单元基于预 定的判断水平，确定由所述模板选择判断水平计算单元所选择的模板 的输出优先次序；以及

缺陷修复执行步骤，缺陷修复执行单元利用基于所述模板输出判 断水平计算单元所确定的优先次序的缺陷修复技术来控制所述缺陷 修复单元。