[发明专利]表面检查装置

权利要求书

1.一种表面检查装置(1)，其特征在于包括：

照射单元(2)，其具有分别发出具有不同波长范围的多个照明光束 的多个光源(12、13、14)，并且在将所述多个光源以彼此相邻的方式放 置并沿着作为所要检查的物体的表面的检查表面(Wa)按给定顺序排列 的状态下，用所述多个照明光束对所述检查表面进行照射；

成像单元(3)，其对所述照明光束被所述检查表面反射时的反射光 进行成像，以获得与相应的波长范围对应的多个图像数据项；以及

控制单元(4)，其基于由所述成像单元所获得的与相应的波长范围 对应的所述多个图像数据项，对所述检查表面上的检测对象(Wb)进行 检测，

其中，所述多个光源被放置使得所述多个光源中的相邻的光源所发 出的光束的波长范围彼此的差别大，

其中，所述照射单元还具有中间光源，其被放置于相邻的两个光源 之间并且被配置为发出波长范围介于所述两个相邻的所述光源所发出的 照明光束的波长范围之间的照明光束，

每个所述光源包括具有相同波长范围的多个光发射器，

所述中间光源包括多个光发射器，并且

所述中间光源的具有与所述两个相邻的所述光源中的一个相同的波 长范围的光发射器和所述中间光源的具有与所述两个相邻的所述光源中 的另一个相同的波长范围的光发射器按混合方式排列。

2.根据权利要求1所述的表面检查装置，其中，根据所述检测对象 的尺寸来确定每个所述照明光束在所述多个光源的排列方向上观察时的 宽度，

其中，当所述检测对象包含所述检查表面上的凸起/凹坑缺陷时，每 个所述照明光束的宽度基于从所述照射单元到所述检查表面的距离和所 述凸起/凹坑缺陷相对于所述检查表面的最大倾斜角度来确定，

其中，每个所述照明光束的宽度等于或小于从所述照射单元到所述 检查表面的距离与所述凸起/凹坑缺陷的所述最大倾斜角度的两倍值的 正切的乘积。

3.根据权利要求1到2中任一所述的表面检查装置，其中，所述控 制单元基于针对所述成像单元所成像的反射光的每个波长范围所得到的 镜面反射量和漫反射量来识别所述检测对象。

4.根据权利要求3所述的表面检查装置，其中，使用定义了多种检 测对象中的每个与所述反射光的每个波长范围的镜面反射量及漫反射量 之间的关系的模式分析表来识别所述检测对象。

5.根据权利要求4所述的表面检查装置，其中，所述多种检测对象 包括凸起/凹坑缺陷、色彩缺陷、异物、和设计特征中的至少一种。

6.根据权利要求1到2中的任一项所述的表面检查装置，其中，所 述照射单元和所述成像单元在保持距离所述检查表面指定距离的同时在 给定方向上作为一体来移动。

7.根据权利要求6所述的表面检查装置，其中，所述多个光源配置 在所述给定方向上。

8.根据权利要求1到2中的任一项所述的表面检查装置，其中，所 述多个照明光束包括红色可见光、蓝色可见光、和绿色可见光。