[发明专利]一种可进行无线遥感操作的电容式微加工超声传感器系统

权利要求书

1.一种可进行无线遥感操作的电容式微加工超声传感器系统，其特征在于：包括一电容式微加工超声传感器单元，用于接收操作把其接受到的外部能量转换成一个输出信号，并且，一个第一个天线用于无线遥感传输此输出信号。

2.根据权利要求1所述的一种可进行无线遥感操作的电容式微加工超声传感器系统，其特征在于：还包括一个交流信号源用来产生载波信号，此载波信号与电容式微加工超声传感器的输出信号调制成为一个调制信号，并通过第一天线无线遥感传输调制信号。

3.根据权利要求2所述的一种可进行无线遥感操作的电容式微加工超声传感器系统，其特征在于：所述的载波信号为直接加在电容式微加工超声传感器上的交流信号，或者，一个交流信号源产生以后，通过遥感传送到电容式微加工超声传感器上的交流信号。

4.根据权利要求1所述的一种可进行无线遥感操作的电容式微加工超声传感器系统，其特征在于：所述的电容式微加工超声传感器单元旁边设置一无线遥感界面单元，所述的无线遥感界面单元由一个第二天线和一个遥感探测电路构成。

5.根据权利要求4所述的一种可进行无线遥感操作的电容式微加工超声传感器系统，其特征在于：第二天线接收从第一个天线无线遥感发射的输出信号。

6.根据权利要求1所述的一种可进行无线遥感操作的电容式微加工超声传感器系统，其特征在于：在所述传感器上外加一低电压，其频率范围远低于超声波的频率，其低电压的频率在0Hz≤频率≤20kHz范围中，或者，输出信号和一个载波信号调制成一个调制信号，载波信号的频率高于低电压的频率。

7.根据权利要求1所述的一种可进行无线遥感操作的电容式微加工超声传感器系统，其特征在于：所述的天线包括一电感部件。

8.根据权利要求7所述的一种可进行无线遥感操作的电容式微加工超声传感器系统，其特征在于：所述的电感部件和电容式微加工超声传感器连接组成一个共振器，且共振频率和载波信号频率相同或相近。

9.根据权利要求1所述的一种可进行无线遥感操作的电容式微加工超声传感器系统，其特征在于：所述的传感器包括多个阵元的传感器阵列，每个阵元有各自的带电感部件的天线。

10.根据权利要求8所述的一种可进行无线遥感操作的电容式微加工超声传感器系统，其特征在于：所述的共振器连接一电子线路，用以控制共振器，所述的电子线路中有一个开关电路，此开关电路被从天线遥感接收到的信号触发时才给无线遥感电路提供电源。

11.根据权利要求10所述的一种可进行无线遥感操作的电容式微加工超声传感器系统，其特征在于：所述的无线遥感界面单元接收到调制信号后，经过放大器和滤波器进入调制解调器，然后再经另一放大器放大和滤波，最后进入信号处理单元处理。

12.根据权利要求1所述的一种可进行无线遥感操作的电容式微加工超声传感器系统，其特征在于：所述的电容式微加工超声传感器单元旁边设置一无线遥感界面单元，所述的无线遥感界面单元由一个第二天线和一个遥感探测电路构成，第二个天线接收从第一个天线无线遥感发射的输出信号。

13.根据权利要求1或12所述的一种可进行无线遥感操作的电容式微加工超声传感器系统，其特征在于：外加在电容式微加工超声传感器上的能量包括一个超声波，此超声波由另外的超声源产生，电容式微加工超声传感器单元接收到超声波，并转换成传感器的输出信号，经调制后输出，被无线遥感界面单元接收并处理。

14.根据权利要求1或12所述的一种可进行无线遥感操作的电容式微加工超声传感器系统，其特征在于：一种可进行无线遥感操作的电容式微加工超声传感器系统，包括：

一电容式微加工超声传感器至少用来接收(RX)，把接收到的能量转换成输出信号，此电容式微加工超声传感器有一个第一电极和一个第二电极被分开了一个电极距，所以一个电容值存在在两个电极之间，并且一个弹簧构件支撑着第二个电极以使第一电极和第二电极可以相互运动；

一个第一天线无线遥感传输输出信号和/或无线遥控接收一个输入信号；以及

一个第二天线接收从第一个天线无线遥感发射的输出信号和/或发射输入信号。