[发明专利]探针座

说明书

技术领域

本发明涉及探针座，尤指一种适用于半导体测试装置的探针座。

背景技术

请同时参阅图1、及图2，图1为半导体测试设备立体图，图2为测试头于A位置时的示意图。图中显示有一半导体测试设备1，其具有一测试头(tester head)11，且测试头11上具有一测试载板(load board)111，并于测试载板111上组设有一探针座(pogo tower)10、或现有探针座90。其中，探针座10主要通过探针电性接触一探针卡12，并对基座13上的待测晶圆、半导体元件、或其它电子元件进行测试(图中未示)。

请同时参阅图3、图4、及图5，图3为现有探针座的剖视图，图4为现有探针座的局部放大剖视图，图5为现有探针的立体图。由图中显示可知，现有探针9近二端处分别组设有探针隔环91，而现有探针9便是透过探针隔环91而固定于现有探针座90内，使现有探针91不致落出现有探针座90外。此外，现有探针座90为求其坚固及轻量化，整体包括上盖板92、及下盖板93皆采用铝质材料。但又因铝具导电性质，故再通过探针隔环91采以绝缘材料，以避免现有探针90产生短路的情况。

然而，现有探针座90组装时，亦因具探针隔环91而相当费时费工。首先，于每一支现有探针9近二端处先套上探针隔环91，接着，再将每一支现有探针9小心地分别置入已锁附有其中一盖板的现有探针座90内，待数百支现有探针9全部置入后再锁附另一盖板。值得注意的是，探针数量少则数百多则上千，因为探针隔环91仅套入现有探针9上，需逐一小心地装配，以防止探针隔环91落出，因此相当费时费工。

此外，因现有探针9固定于现有探针座90内，亦即现有探针9凸露出的二弹性端亦固定，无法上下位移。此时，当现有探针座90进行组设于测试载板111时，因现有探针9凸露出的二弹性端有预压力量，故需施予相当的外力(约莫数公斤重的力量)且平均于探针座90整体，并朝向测试载板111的方向逼近，以便进行锁附固定。但，此时倘若所施予的外力不平均，造成现有探针座90其中一侧翘起，将导致导引柱94弯曲或断裂，严重的还可能破坏现有探针座90或测试载板111。其中，导引柱94主要用以提供探针座90与测试载板111组装时定位之用。

由此可知，如何达成一种构造简单、成本低廉、组装便利、省时省力，且又便于安装或拆解的探针座，实在是产业上的一种迫切需要。

发明内容

本发明为一种探针座，包括：一座体、一绝缘上盖、一绝缘下盖、及多支探针。其中，座体包括有多个贯通孔，而多个贯通孔彼此轴向平行并分别延伸贯通于座体的上表面与下表面之间。而绝缘上盖组设于座体的上表面上，绝缘上盖包括有多个上穿孔，其多个上穿孔分别对应到座体的多个贯通孔，且每一上穿孔具有一孔径。又，绝缘下盖组设于座体的下表面上，其绝缘下盖包括有多个下穿孔。且多个下穿孔分别对应到座体的多个贯通孔，每一下穿孔亦具有其孔径。

再者，多支探针中每一探针包括有一外管、及二针头。而外管具有一外径其小于上穿孔与下穿孔的孔径，且外管于邻近二端的管壁处分别径向凸设有一肩部，其肩部具有一径向尺寸，其大于上穿孔与下穿孔的孔径。而二针头分别组设于该外管的二端内。

其中，多支探针分别容设于座体的多个贯通孔内，且多支探针并分别透过其肩部，因其径向尺寸大于上穿孔与下穿孔的孔径而卡止限位于绝缘上盖的上穿孔与绝缘下盖的下穿孔之间。又，每一探针的外管二端与二针头，因外管的外径小于上穿孔与下穿孔的孔径，故能分别轴向穿出其所对应的上穿孔与下穿孔而凸露于绝缘上盖与绝缘下盖外面。因此，本发明的构造简单，又可俭省成本，更方便组装。

较佳的是，本发明的绝缘上盖与绝缘下盖可分别包括有一聚醚酰亚胺板(Polyetherimide，PEI)、或其它非导电或电绝缘的等效材质所构成的板材皆可，据此可避免多支探针相互电性导通，而造成短路无法进行量测，甚至烧毁机台内部电路的情形发生。

另外，本发明的绝缘上盖与绝缘下盖的轴向距离可大于每一支探针的外管相对应二端肩部的轴向距离。据此，每一支探针可因重力、或施予些微外力而产生上下位移，如此更方便探针座装配于测试载板上。详言之，当探针座进行安装至测试载板时，仅须于探针座上施予些微朝向测试载板的外力，亦即稍微下压探针座，此时所有探针已产生远离测试载板的方向的位移，接着保持微下压力便可轻松直接将探针座锁附于测试载板上。