[发明专利]处理液槽

说明书

技术领域

本发明涉及一种能供给、排出镀覆液等各种处理液的处理液槽，尤其涉及 在短时间内进行处理液的供给、排出，并且包括具有垂直状态的板状工件不用 升降就能经过的工件经过口的闸门装置的处理液槽。

背景技术

镀覆处理装置等处理液槽中，在包括具有工件经过口的闸门装置时，该闸 门装置在工件不经过时将工件经过口关闭，以便能朝处理液槽内填充处理液， 在工件经过时将工件经过口打开。上述闸门装置的构造例如包括水平方向滑动 自如的板状闸门部件，或包括以左右对开形式绕垂直轴转动自如的一对板状闸 门部件，利用具有电动机和减速齿轮机构的机械式驱动机构来驱动闸门部件开 闭(专利文献1)。

另外，作为其它开闭方式的闸门装置，也有这样的装置：包括上下方向滑 动自如的板状闸门部件，并在上述闸门部件上安装浮子(float)，通过处理液 槽内的处理液的增加，使闸门部件与浮子一起上升，将工件经过口关闭(专利 文献2)。

上述各闸门装置均具有矩形的宽度较宽的工件经过口，并利用驱动机构驱 动一个或一对闸门部件来开闭上述工件经过口整体，因此，工件经过口的开闭 费时，在连续处理许多工件时，无法在短时间内进行处理液的供给、排出，作 业效率不好。

专利文献3中记载了一种针对上述具有工件经过口和闸门装置的处理液 槽，将工件经过口的形状形成为具有工件和保持工件的部件能经过的大致最小 限度的面积的形状的处理液槽。

专利文献3的处理液槽像图22那样，在镀覆液槽14与箱槽15之间的槽 壁82、箱槽15与空平台16之间的槽壁83上形成有工件经过口88。各工件经 过口88由垂直姿势的工件能经过的最小限度的窄宽度的狭缝状开口部88b、支 撑工件上端部的保持部件能经过的扩张开口部88a构成。为了开闭狭缝状开口 部88b，包括伸缩自如的袋状弹性部件制的闸门部件(未图示)，由此，可缩短 处理液的供给、排出时间，提高闸门装置关闭时的密封功能。形成上述扩张开 口部88a的原因是为了通过以工件的上端从镀覆液面(LI)沉下50mm左右的形 态浸渍工件，来防止电流朝工件的上端部集中，防止电流集中引起的镀覆膜厚 的不均。

专利文献1：日本专利特开2004-99957号公报

专利文献2：日本专利特开昭55-141558号公报

专利文献3：日本专利特开2007-113066号公报

但是，即使像图22(专利文献3)那样由狭缝状开口部88b和扩张开口部 88a来构成工件经过口88，在只包括开闭狭缝状开口部88b的闸门部件时，扩 张开口部88a始终打开，因而即便欲在处理液槽内收纳期望量的处理液，处理 液也会从扩张开口部88a漏出，很难长期保持规定量的处理液。

例如，若形成在箱槽15与空平台16之间的槽壁83上的开口88的扩张开 口部88a始终打开，则在箱槽15装满时(实线所示的液平面L1)，镀覆液会从 箱槽15通过扩张开口部88a泄漏到空平台16，镀覆液强有力地与空平台16 的底面碰撞，产生泡沫。另外，在箱槽15排液时(双点划线所示的液面L2)， 镀覆液会从镀覆液槽14通过槽壁82的扩张开口部88a泄漏到箱槽15内，镀 覆液强有力地与箱槽15的排液面(L2)碰撞，产生泡沫。这样产生泡沫时，泡 沫会从各槽15、16溢出，污染装置的周围。另外，泡沫会附着在工件上，因 此，在工件被搬运到下一道工序时，下一道工序的装置会被泡沫污染。对此， 需要用于清洗工件和装置的工序和机构。

发明内容

本发明的目的在于提供一种处理液槽，在该处理液槽中，作为工件经过口， 具有狭缝状开口部和扩张开口部，从而将工件经过口的开口面积控制在必要的 最小限度，并且，即使是具有上述形状的工件经过口的处理液槽，也能在短时 间内可靠地开闭工件经过口整体，并能维持工件经过口处的密封性。