[发明专利]石英坩埚制造用模具有效
| 申请号： | 200910207795.2 | 申请日： | 2009-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN101723574A | 公开（公告）日： | 2010-06-09 |
| 发明（设计）人： | 吉冈拓磨;森川正树 | 申请（专利权）人： | 日本超精石英株式会社 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00;C30B15/10 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 日本秋田县秋*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石英 坩埚 制造 模具 | ||
【权利要求书】：
1.一种石英坩埚制造用模具，其为用于通过在石英粉附着到旋转模具的 内壁上的状态下将所述石英粉热熔化来制造石英坩埚的模具，其特征在于， 具有比所述模具的内直径小且比所述石英坩埚的内直径大的内直径的环形绝 热障壁材料设置于所述模具的对应于所述石英坩埚的上部区的上部开口部分 的内周壁上，所述环形障壁材料的内表面的从所述模具的所述内周壁突出的 厚度t1由以下等式表示：
t1=（模具内直径-障壁材料内直径）/2，
t1是石英粉的附着厚度t2的20%到80%。
2.根据权利要求1所述的石英坩埚制造用模具，其特征在于所述障壁材 料是石英、碳、碳化硅或氮化硅。
3.根据权利要求1或2所述的石英坩埚制造用模具，其特征在于所述障 壁材料的所述内表面具有6.3到25μm的表面粗糙度作为算术平均粗糙度Ra。
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