[发明专利]真空旋转动力传输装置

权利要求书

1.一种真空旋转动力传输装置，其包括：

旋转轴，用以传递动力；

轴套组，其具有座体，该座体一端向外延伸有凸缘，以供固定在真空系统的腔壁上，该座体中央具有穿孔，以供该旋转轴穿设，该座体在该穿孔中对应该旋转轴间隔设置有第一轴承组、第二轴承组、至少一个的密封环及轴封件，该第一、二轴承组供承载该旋转轴旋转，并且该轴封件设置于远离凸缘的一侧，且该轴封件远离该凸缘的一端向中心延伸有薄片状的唇状突缘，使该旋转轴穿过时会将该唇状突缘朝远离该凸缘的方向扩延而包覆于该旋转轴外缘；

传动组，其连结于该旋转轴穿出该座体且远离凸缘的一段，以驱动该旋转轴转动。

2.依权利要求1所述的真空旋转动力传输装置，其中该轴套组的密封环设置于该第一轴承组与该第二轴承组之间。

3.依权利要求1或2所述的真空旋转动力传输装置，其中该密封环的断面略呈方形并于四个角隅分别形成圆弧形的唇缘，且在同侧的两唇缘之间分别形成凹弧部。

4.依权利要求3所述的真空旋转动力传输装置，其中该密封环的凹弧部与该旋转轴之间填充有高真空油脂。

5.依权利要求1所述的真空旋转动力传输装置，其中该轴封件对应该旋转轴具有孔而略呈环状，该孔中段具有环状的凹部，该凹部可供积存高真空油脂，且该孔于该唇状突缘的一端形成内径较小的小径部。

6.依权利要求1所述的真空旋转动力传输装置，其中该轴封件由工程橡塑胶所制成。

7.依权利要求1所述的真空旋转动力传输装置，其中该轴封件外缘面具有环沟，该环沟中套设有O型环，以保持该轴封件与该座体间的气密效果。

8.依权利要求1所述的真空旋转动力传输装置，其中该第一轴承组设置于该穿孔邻靠该凸缘的一端。

9.依权利要求1所述的真空旋转动力传输装置，其中，其是该第一轴承组与该第二轴承组可为自润轴承、滚珠轴承等其中之一。

10.依权利要求1所述的真空旋转动力传输装置，其中该座体的凸缘设有多数通孔，以分别供螺栓穿设而锁固于前述真空系统的腔壁。

11.依权利要求1所述的真空旋转动力传输装置，其中该座体于紧邻该凸缘的一端面设有环槽，以供容设O形环，以保持前述真空系统的腔壁与座体间的密合。

12.依权利要求1所述的真空旋转动力传输装置，其中该座体于该穿孔邻靠该轴封件的一端固设有一个压环，以迫紧固定该轴封件。

13.依权利要求12所述的真空旋转动力传输装置，其中该压环由多个螺丝锁固于该座体，且该压环的一端具有凸环，该凸环延伸至该穿孔中并抵压于该轴封件，以迫紧固定该轴封件。

14.依权利要求13所述的真空旋转动力传输装置，其中该压环由该凸环的一端凹设有凹槽，该凹槽中套设有界面轴承，该界面轴承的一面靠抵于该凹槽的内缘面，且该界面轴承的另一面则靠抵于轴扣环，而该轴扣环嵌扣于该旋转轴，用于形成该旋转轴与该轴套组的轴向定位作用。

15.依权利要求1所述的真空旋转动力传输装置，其中该旋转轴为中空形态而具有内孔，且该旋转轴的一端为封闭端，该封闭端穿过该轴套组而伸入前述的真空系统中。

16.依权利要求15所述的真空旋转动力传输装置，其中该封闭端结合有导轮以供连结前述的真空系统中的对应装置运转。

17.依权利要求16所述的真空旋转动力传输装置，其中该导轮为摩擦轮、齿轮或蜗轮等其中任一结构。

18.依权利要求15所述的真空旋转动力传输装置，其中该旋转轴在该内孔中穿设有冷却水管，该冷却水管与该内孔于相对于该封闭端的一端与冷却组连通。

19.依权利要求18所述的真空旋转动力传输装置，其中该冷却组具有本体，该本体一端通过轴承组件枢设有旋转接头，该旋转接头结合于该旋转轴，使该旋转接头及该旋转轴可相对于本体而转动。

20.依权利要求19所述的真空旋转动力传输装置，其中该本体对应该旋转轴的内孔具有流道，该流道与出水接头相连通，且该本体对应该冷却水管设有进水接头。