[发明专利]等离子体处理装置

权利要求书

1.一种等离子体处理装置，其使被供有处理气体的处理容器内产 生感应电场，将处理气体等离子体化并且对被载置于处理容器内的载 置台的被处理体进行等离子体处理，该等离子体处理装置的特征在于， 包括：

天线，其以隔着处理气氛与所述载置台相对的方式被设置于该处 理气氛之外，并且包括各个长度相等的、相互横向平行地排列而构成 的多个直线状的天线部件；

用于将高频电力供给至所述天线的高频电源部；

用于将所述天线的一端侧与所述高频电源部连接的电源侧电路；

用于将所述天线的另一端侧与接地点连接的接地侧电路；和

电位分布调整用的电容器，其被设置在所述电源侧电路和接地侧 电路的至少一方、并且用于对天线的电位分布进行调整，

从所述高频电源部通过各天线部件至接地点的各高频路径的阻抗 被设定为相互相等。

2.一种等离子体处理装置，其使供给有处理气体的处理容器内产 生感应电场，将处理气体等离子体化并且对被载置于处理容器内的载 置台的被处理体进行等离子体处理，该等离子体处理装置的特征在于， 包括：

天线，其以隔着处理气氛与所述载置台相对的方式被设置于该处 理气氛之外，并且包括各个长度相等的、相互横向平行地排列而构成 的多个直线状的天线部件；

用于将高频电力供给至所述天线的高频电源部；

用于将所述天线的一端侧与所述高频电源部连接的电源侧电路；

用于将所述天线的另一端侧与接地点连接的接地侧电路；

电位分布调整用的电容器，其被设置在所述电源侧电路和接地侧 电路的至少一方、并且用于对天线的电位分布进行调整；和

阻抗调整用的电容器，其被设置在所述电源侧电路和接地侧电路 的至少一方、并且用于对从所述高频电源部通过各天线部件到所述接 地点的高频路径的阻抗进行调整。

3.如权利要求1或2所述的等离子体处理装置，其特征在于：

构成为天线部件彼此之间的间隔能够自由调整。

4.如权利要求3所述的等离子体处理装置，其特征在于：

所述天线部件的一端侧和另一端侧，与在天线部件的排列方向上 自由移动的移动部连接。

5.如权利要求1或2所述的等离子体处理装置，其特征在于：

各个长度相等的多个直线状的天线部件形成相互相邻并且相互并 联连接而成的节段，该节段被配置有多个。

6.如权利要求5所述的等离子体处理装置，其特征在于：

所述节段被配置有偶数个，所述电源侧电路和接地侧电路，以形 成决定比赛的组合的线图状的方式配线为台阶状，使得在各节段之间 所述高频路径的阻抗相等，其中，所述决定比赛的组合的线图状是指， 将相互相邻的两个节段作为一个组合，并通过第一段电路将成为所述 组合的相互相邻的节段彼此之间连线，再通过第二电路将所述第一段 电路彼此之间连线。

7.如权利要求5所述的等离子体处理装置，其特征在于：

在任一个节段中所述天线部件的排列间隔都相等。

8.如权利要求5所述的等离子体处理装置，其特征在于：

所述天线包括：

多个天线部件相互以第一间隔排列而成的多个密部区域；和

设置在这些密部区域彼此之间的、多个天线部件相互以比第一间 隔更大的第二间隔排列而成的疏部区域。

9.如权利要求8所述的等离子体处理装置，其特征在于：

所述第一间隔为构成所述节段的天线部件的间隔，所述第二间隔 为相互相邻的节段彼此之间的间隔。

10.如权利要求5所述的等离子体处理装置，其特征在于：

构成为所述节段彼此之间的间隔能够自由调整。

11.如权利要求10所述的等离子体处理装置，其特征在于：

所述节段的一端侧和另一端侧，与在所述节段的排列方向上自由 移动的移动部连接。