[发明专利]电容式微加工超声传感器

权利要求书

1.一个电容式微加工超声传感器，包括第一支撑层、结合在第一支撑层上的第一电极、第二支撑层和设置在第二支撑层上的第二电极，其中，第二支撑层与第一支撑层通过弹性机构连接，其特征在于：所述的第二支撑层上设有增强机构，该增强机构能够有效增大所述的第二支撑层的共振频率与其等效薄膜质量之间的比率(f0/m)，提高电容式微加工超声传感器的频率响应灵敏度。

2.根据权利要求1所述的电容式微加工超声传感器，其特征在于：所述的第一支撑层为衬底；第二支撑层为可变形薄膜，在可变形薄膜上设置增强机构；弹性机构为薄膜支撑。

3.根据权利要求1所述的电容式微加工超声传感器，其特征在于：所述的第一支撑层为衬底；第二支撑层为表面薄板，在可变形薄板上设置增强机构；弹性机构为在表面薄板下面的弹簧连接物和弹簧层，弹簧连接物连接弹簧和表面薄板，弹簧连接物下面，弹簧层通过弹簧支撑连接衬底。

4.根据权利要求2或3所述的电容式微加工超声传感器，其特征在于：所述的增强机构为设置在可变形薄膜或者表面薄板上一个或几个互相平行的第一横梁。

5.根据权利要求4所述的电容式微加工超声传感器，其特征在于：所述的增强机构为设置在可变形薄膜或者表面薄板上一个或几个互相平行的第一横梁，同时设置一个或几个与第一横梁交叉的第二横梁，其中，第一横梁与第二横梁交叉的角度为0～90°中的任意角度。

6.根据权利要求2或3所述的电容式微加工超声传感器，其特征在于：所述的增强机构为设置在可变形薄膜或者表面薄板上的窝状结构，包括蜂窝状结构、菱形窝状结构、梯形结构、三角窝状结构和圆环形窝状结构在内的一个或几个窝状结构。

7.根据权利要求6所述的电容式微加工超声传感器，其特征在于：所述的窝状结构位于可变形薄膜或者表面薄板中央，并在窝状结构边缘设置横梁延伸至可变形薄膜或者表面薄板的边缘。

8.根据权利要求2或3所述的电容式微加工超声传感器，其特征在于：所述的增强机构为设在薄膜或表面薄板上有一个或几个褶皱。

9.根据权利要求8所述的电容式微加工超声传感器，其特征在于：所述的褶皱为开口朝下的开口槽。

10.根据权利要求8所述的电容式微加工超声传感器，其特征在于：所述的褶皱为一个或几个互相平行的开口朝下的第一开口槽，同时设置一个或几个互相平行的第二开口槽，第一开口槽和第二开口槽以0～90°中的任意角度交叉。

11.根据权利要求8所述的电容式微加工超声传感器，其特征在于：所述的褶皱为一个或几个开口朝下的蜂窝状开口槽、菱形开口槽、三角开口槽或圆环形开口槽。

12.根据权利要求11所述的电容式微加工超声传感器，其特征在于：所述的开口槽位于薄膜或表面薄板的中央，并在开口槽边缘设置开口槽延伸至薄膜或表面薄板的边沿。

13.根据权利要求2或3所述的电容式微加工超声传感器，其特征在于：所述的增强机构由一薄板和设置在薄板上的褶皱的薄膜构成，其中，所述的褶皱为一个或几个开口朝下的开口槽。

14.根据权利要求13所述的电容式微加工超声传感器，其特征在于：所述的增强机构由一薄板和设置在薄板上的褶皱的薄膜构成，其中，所述的褶皱为一个或几个互相平行的开口朝下的第一开口槽，同时设置一个或几个互相平行的第二开口槽，第一开口槽和第二开口槽以0～90°中的任意角度交叉。

15.根据权利要求2或3所述的电容式微加工超声传感器，其特征在于：所述的增强机构由一薄板和设置在薄板上的褶皱的薄膜构成，所述的褶皱为一个或几个开口朝下的蜂窝状开口槽、菱形开口槽、梯形开口槽、三角开口槽或圆环形的环形开口槽。

16.根据权利要求15所述的电容式微加工超声传感器，其特征在于：所述的环形开口槽设在薄膜的中央，并在环形开口槽边缘设置开口槽延伸至薄板的边沿。

17.根据权利要求2或3所述的电容式微加工超声传感器，其特征在于：在所述的第二电极上方通过连接构件连接一表面薄板。