[发明专利]用于检测和补偿在压力测量单元上的快速温度变化的方法有效
申请号: | 200910211540.3 | 申请日: | 2009-11-04 |
公开(公告)号: | CN101738287A | 公开(公告)日: | 2010-06-16 |
发明(设计)人: | J·雅各布;H·格吕勒 | 申请(专利权)人: | VEGA格里沙贝两合公司 |
主分类号: | G01L19/04 | 分类号: | G01L19/04;G01L9/12 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 赵科 |
地址: | 德国沃*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 检测 补偿 压力 测量 单元 快速 温度 变化 方法 | ||
1.一种用于检测和补偿压力测量单元上的快速温度变化的系统, 所述系统包括
(a)第一传感器装置(Cmess),设置在被施加有压力的膜上,用于 产生取决于膜的偏转的测量信号,所述第一传感器装置的电容式传感器 (Cmess)被设置在膜的中心处,以采集膜的中心区域中的偏转,
(b)第二传感器装置,设置在所述膜上,用于产生取决于膜的偏 转的参考信号,所述第二传感器装置的电容式传感器(Cref)被设置在 膜的边缘区域中,以采集膜的边缘区域中的偏转,
(c)微处理器,用于根据所述测量信号产生一组测量值(Cm),并 且根据所述参考信号产生一组相应的参考值(Cr),以及
(d)所述微处理器的存储器,用于依据所述测量值存储所述参考 值(Cr)的期望值的容差带,并且其中当前产生的参考值(Cr)与所述 容差带中的期望值相比较,并且:
-在一致时,检测到由于压力引起的膜偏转,并且所述测量值 (Cm)作为所测量的压力的测量值被输出,或者
-在不一致时,检测到由快速温度变化引起的膜偏转,用校正值 校正所述测量值(Cm),并且输出校正后的测量值作为所测量的压力的 测量值。
2.根据权利要求1的系统,其特征在于还包括:
存储在所述微处理器的存储器中的校正值表,用于依据由快速温度 变化引起的测量值变化的变化方向为位于容差带之外的参考值(Cr)与 其期望值之间的每个差值分配一个校正值。
3.一种用于检测和补偿压力测量单元(1)上的快速温度变化的方 法,其中:
-借助设置在被施加有压力的膜上的第一传感器装置(Cmess)产生 取决于膜的偏转的测量信号,所述第一传感器装置的电容式传感器 (Cmess)被设置在膜的中心处,以采集膜的中心区域中的偏转,
-借助设置在所述被施加有压力的膜上的第二传感器装置(Cref) 产生取决于膜的偏转的参考信号,所述第二传感器装置的电容式传感器 (Cref)被设置在膜的边缘区域中,以采集膜的边缘区域中的偏转,
-借助微处理器(4)根据所述测量信号产生测量值(Cm),并且根 据所述参考信号产生相应的参考值(Cr),
其特征在于,
-依据所述测量值,所述参考值(Cr)的期望值的容差带(T)被 存储在所述微处理器(4)的存储器中,以及
-当前产生的参考值(Cr)与容差带(T)中的期望值相比较,并 且
-在一致时,检测到由于压力引起的膜偏转,并且所述测量值 (Cm)作为所测量的压力的测量值被输出,或者
-在不一致时,检测到由快速温度变化引起的膜偏转,用校正值 校正所述测量值(Cm),并且输出校正后的测量值作为所测量的压力的 测量值。
4.根据权利要求3的方法,其特征在于:
-在所述微处理器(4)的存储器中存储校正值表,该校正值表依据 由快速温度变化引起的测量值变化的变化方向为位于容差带(T)之外 的参考值(Cr)与其期望值之间的每个差值分配一个校正值,并且
-在检测到快速温度变化时,借助所述微处理器(4)用校正表中的 分别分配给参考值(Cr)和对应于测量值的期望值之间的差的校正值来 校正测量值(Cm)。
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