[发明专利]溅射靶材的表面处理方法有效
| 申请号： | 200910211713.1 | 申请日： | 2009-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN101700616A | 公开（公告）日： | 2010-05-05 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;汪涛;刘庆 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B23P17/00 | 分类号： | B23P17/00;B23Q11/10;B24B29/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李丽 |
| 地址： | 315400 浙江省余*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溅射 表面 处理 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种溅射靶材的表面处理方法，其特征在于，所述方法包括：
提供溅射靶材，所述溅射靶材为铝或铝合金；
车刀以每转进给0.1毫米的移动速度对所述溅射靶材的表面进行车削加工，并在车削过程中采用酒精冷却，所述酒精为浓度大于95％的工业酒精；
采用抛光件对所述车削后的溅射靶材的表面进行抛光。
2.根据权利要求1所述的溅射靶材的表面处理方法，其特征在于，所述溅射靶材为管状或板状。
3.根据权利要求1所述的溅射靶材的表面处理方法，其特征在于，所述溅射靶材中铝的纯度大于99.9％。
4.根据权利要求1所述的溅射靶材的表面处理方法，其特征在于，所述在车削过程中采用酒精冷却具体指通过高压空气将酒精喷洒至所述车床的车刀刀尖与所述溅射靶材表面的交接点上。
5.根据权利要求1所述的溅射靶材的表面处理方法，其特征在于，采用抛光件对所述车削后的溅射靶材进行抛光具体包括：提供抛光件；往复移动或转动所述车削后的溅射靶材；利用所述抛光件接触于所述溅射靶材的表面，对所述溅射靶材进行抛光。
6.根据权利要求1或5所述的溅射靶材的表面处理方法，其特征在于，所述抛光件为无纺布或绸布。
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