[发明专利]用于压印工艺的光敏树脂组合物以及用于在基板之上形成有机层的方法

权利要求书

1.一种用于压印的光敏树脂组合物，其由赤藻糖醇基单体或者低聚 物、乙烯基单体或者低聚物、交联剂、以及光聚合引发剂组成；其中，所 述赤藻糖醇基单体或低聚物占组合物重量的1％至20％，所述乙烯基单体或 低聚物占组合物重量的9％至80％，所述交联剂占组合物重量的20％至 60％，以及所述光聚合引发剂占组合物重量的0.1％至10％；

所述赤藻糖醇基单体或低聚物由下列式1表示，用以改善由所述光敏 树脂组合物所形成的有机膜的恢复力：

式1)

其中，R1、R2、R3和R4各自选自于由羟基、氢、烷基以及丙烯酸酯 所组成的群组中。

2.根据权利要求1所述的组合物，包含二丙烯酸赤藻糖醇酯、三丙烯 酸二赤藻糖醇酯、单丙烯酸二赤藻糖醇酯、或者二丙烯酸二赤藻糖醇酯。

3.根据权利要求2所述的组合物，包含丙烯酸羟丁酯、丙烯酸苯氧基 乙酯、或者二丙烯酸1，4-丁二醇酯。

4.一种用于在基板上形成有机膜的方法，包括：

在基板上设置由赤藻糖醇基单体或者低聚物、乙烯基单体或者低聚 物、交联剂、以及光聚合引发剂组成的光敏树脂组合物；其中，所述赤藻 糖醇基单体或低聚物占组合物重量的1％至20％，所述乙烯基单体或低聚物 占组合物重量的9％至80％，所述交联剂占组合物重量的20％至60％，以 及所述光聚合引发剂占组合物重量的0.1％至10％；

在光敏树脂上设置模制框架来形成预图案；以及

曝光形成预图案的所述光敏树脂组合物来使其固化，

所述赤藻糖醇基单体或低聚物由下列式1表示：

式1)

其中，R1、R2、R3和R4各自选自于由羟基、氢、烷基以及丙烯酸 酯所组成的群组中；

其中，所述赤藻糖醇基单体或者低聚物改善了由所述光敏树脂组合物 所形成的有机膜的恢复力。

5.根据权利要求4所述的方法，其中，所述光敏树脂组合物包含二丙 烯酸赤藻糖醇酯、三丙烯酸二赤藻糖醇酯、单丙烯酸二赤藻糖醇酯、或者 二丙烯酸二赤藻糖醇酯。